微波处理废水主要通过3种方式：直接微波辐射，微波诱导催化氧化，微波辅助高级氧化。在焦化废水深度处理研究中，主要采用后2种方式，研究较多的是微波-活性炭和微波-Fenton技术。
微波-活性炭技术主要是利用活性炭对微波的强吸收能力。微波效应使活性炭的某些表面点位选择性地被快速加热至很高的温度，当有机污染物与受激发的表面点位接触时发生催化反应被降解。曲晓萍等采用微波-活性炭技术对焦化废水生化出水进行处理，实验表明，有机物的去除主要通过活性炭吸附-微波诱导催化的协同作用而非仅为活性炭吸附;增加活性炭用量、微波辐射时间和微波功率可以促进COD的去除，废水pH对处理效果的影响不大。林莉等的研究表明，微波功率和辐射时间的增加可以提高微波-活性炭技术对COD和氨氮的去除;活性炭用量的增加可使COD去除率增加，但氨氮去除率会降低。具体联系污水宝或参见http://www.dowater.com更多相关技术文档。
微波-Fenton技术是焦化废水深度处理研究中主要的微波辅助高级氧化方法。由于微波辐射可降低反应的活化能，有利于Fenton反应过程中HO·的生成，所以微波辐射与Fenton氧化协同作用可提高污染物的去除。范明霞等采用微波-活性炭-Fenton工艺处理焦化废水生化出水，结果表明，在最佳工艺条件下，处理出水可达到国家一级排放标准的要求。昆钢煤焦化安宁分公司采用微波-Fenton氧化-混凝的工艺深度处理焦化废水，处理出水达到《城市污水再生利用工业用水水质标准》和《城市污水再生利用城市杂用水水质标准》的要求，出水全部回用，实现了废水零排放。
