焦化废水深度处理中研究的光催化技术包括UV/TiO2、UV/TiO2/H2O2以及光催化与其他技术的联用。郭建平等的研究表明，焦化废水生化出水经TiO2光催化氧化处理后，COD去除率最高可达55.4%;而不加TiO2时，COD去除率只有4.21%。肖俊霞等的研究表明，经TiO2光催化氧化处理后焦化废水生化出水中有机物种类由66种降为23种，并且对除多环芳烃外的其他有机物均有较好的去除效果;其对不同种类有机物的去除速率大小依次为石油烃>醇、酸、醛等有机物>酚>苯系物>含氮杂环有机物>多环芳烃。在UV/TiO2中添加H2O2可促进光催化系统中HO·的产生，从而促进污染物的降解。将光催化和超声技术进行合理联合可提高光催化的处理效果。具体联系污水宝或参见http://www.dowater.com更多相关技术文档。
超声处理：超声降解有机物的机理包括热分解、自由基氧化和超临界氧化。超声技术用于废水处理存在能耗大、降解不彻底等问题，因此对于超声处理的研究主要集中在超声与其他高级氧化技术的联用。成泽伟等对焦化废水采用多种超声协同技术进行处理，结果表明，各技术对污染物去除能力大小依次为超声+光催化+Fenton>超声+光催化+H2O2>超声+光催化+空气>超声+光催化>光催化>超声。GC-MS分析表明，经各种超声协同技术处理后的废水中萘类、蒽类和喹啉类等难生物降解有机物的比例明显降低。
焦化废水各深度处理技术对比见表1。其中膜分离技术如UF、NF、RO主要用于实现水的回用。RO主要用于去除无机物，因此在将水回用时作为最后一道工序。其他的技术大多用于去除有机物，对无机物无明显去除效果，可作为水回用的预处理工艺。
