湖北武汉天马微电子有限公司第6代低温多晶硅(LTPS)TFT-LCD及彩色滤光片(CF)生产线项目配套污水处理系统

项目

主要建设内容

主体工程

1

主生产厂房（M1）

主体二层局部2~4的主生产厂房一座，用于阵列基本、彩膜基本及成盒前段生产。核心生产区为两层，其中一层为下夹层，二层为生产加工区、生产支持区等功能区。

2

模组厂房（M2）

4F模组厂房一座，一层布置原材料仓及导光板注塑区；二层布置BLU（背光模组）组装车间及成品仓；三层布置CFOG（驱动芯片及线路板热压连接）区及成盒后段区；四层布置ASSY（总成）区及全贴合区。

3

薄化厂房（M3）

2F薄化厂房一座，核心生产区为二层，其中一层为下夹层，二层布置薄化生产区、生产支持区、办公区。

公辅工程

1

给水系统

用水由金口水厂供给，设置一座13000m3储水池，两条不小于DN500的市政自来水管道进入厂区。厂区内设置一座纯水站及中水回用水池，冷冻机和工艺循环冷却水站各1座。

2

排水系统

为独立排水系统，雨污分流、生产废水分质收集，生产废水经过架空廊道敷设的污水管收集至污水处理站处理。生产区和宿舍区各设1个废水总排口。生产区废水经处理后及宿舍区生活污水通过市政污水管网进入左岭污水处理厂处理。

3

供电系统

设110kV（4×630MVA）户内变电站一座和16台2000KW应急柴油发电机。采用双回路，从变电站再降压输送给配电站。年耗电量55188.8万千瓦时。

4

供冷/热系统

全厂设置1250RT低温冷水机组7台，2500RT中温冷水机组13台，1350RT中温热回收冷水机组18台；3台2.8MW燃气真空热水锅炉（冬天备用）。

5

气体供应系统

设大宗气体站、特殊气体站、硅烷站、压缩气体及真空系统。

6

控制报警系统

设置全厂自动控制系统，用于对全厂能源、生产环境、动力等设备群进行集中监视、控制和管理。在生产和支持厂房、办公室、动力厂房、仓库等主要建筑物内部，设置感烟或感温火灾报警装置，在洁净区设置高灵敏度主动式空气采样早期烟雾探测器在各个报警区域，设置手动报警按钮以及声光报警装置。在使用或保存有毒、易燃易爆气体和有机溶剂的区域及生产厂房内的输送管路，设置有毒有害气体泄漏检测报警器。当泄漏报警报警时，联锁关闭相关管道阀门，同时将泄漏报警信号送至消防/安保中心，以便采取相应紧急措施，启动事故排风系统等。

储运工程

1

原料及产品仓库

玻璃基板和靶材等非化学品原料存储在生产厂房内，产品存储在模组厂房中。主生产厂房除特气车间供应化学品外的其他化学品存储于下夹层及支持区中。薄化蚀刻所用化学品原料以储罐方式存储于薄化厂房下夹层及支持区。

2

化学品库

设化学品库一座，存储物料为光刻胶、固着剂、配向液、乙醇及丙酮等桶装有机材料及各类散装胶等一般化学品。

3

特气车间

存储硅烷（SiH4）、20％磷烷混氢气、氨（NH3）、氯（Cl2）、三氟化氮（NF3）、六氟化硫（SF6）、三氟甲烷（CHF3）、四氟化碳（CF4）、五氟乙烷（C2HF5）、三氟化硼（BF3）、笑气（N2O）等特殊气体。专用气瓶或槽车存储，设置在专用气柜内或气瓶架内，各类气体经专用管道送至设置在生产工艺间的气体阀箱，再由气体阀箱分配至各工艺设备的需求点。

4

硅烷站

硅烷站起供应硅烷功能，供应同特气车间。

5

大宗气站

大宗气体包括普通氮气、高纯氮气、高纯氧气、高纯氩气、高纯氢气、高纯氦气等。各类气体通过专用气体管道输送至各工艺设备的需求点使用。

6

应急发电机油罐区

设置地埋柴油储罐1个。

7

废液贮存区

主生产厂房下夹层及支持区设置废液收集储罐，对使用过的阵列剥离液、BHF蚀刻液、Al/Mo蚀刻液、ITO蚀刻液、稀释剂、NMP、RGB剥离液及异丙醇收集暂存；薄化厂房支持区设置薄化蚀刻废液储罐。

环保工程

1

废气处理系统

碱性废气处理系统3套（2用1备）；剥离液废气处理系统2套（其中冷凝系统1套，喷淋吸收设施2套（1用1备））；有机废气处理系统3套（2用1备）；酸性废气最终处理系统5套（4用1备）；CVD废气最终处理系统2套（1用1备）；薄化酸性处理系统2套（1用1备）

2

废水处理系统

清污分流、分质处理。生产区生活污水和生产废水独立收集和排放，设置酸碱废水处理系统、BHF含氟废水预处理系统、一般含氟废水处理系统、薄化含氟废水处理系统、含磷废水预处理系统、染料/剥离废水预处理系统和有机废水处理系统各1套。宿舍区产生的废水经化粪池处理后排放。

3

固废处置及暂存系统

为达到回收物料及减量化、资源化目的，在SRS区域设废剥离液回收系统和废稀释剂回收系统。设置一座固废转运站，用于出厂处置前的危险废物和一般工业固废暂存。

4

环境风险防范系统

设置事故应急池及三级防控系统，有毒有害气体探测与报警系统，便携式气体侦测器，特气车间和硅烷站气体抽排、净化系统及应急抢险设施设备。

办公生活设施

生产区模组厂房辅房设置1座食堂。宿舍区位于生产区东南部，设7栋员工倒班宿舍、1栋多功能中心（包含超市、食堂、活动室等）、自行车棚等。