某公司硅外延片生产线扩产项目配套废气处理设施

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为了适应市场需求，扩大企业经营生产范围，中电晶华（天津）半导体材料有限公司拟投资 15000 万元建设“中电晶华（天津）半导体材料有限公司6～8 英寸硅外延片生产线扩产项目 ”（以下简称“本项目”），本项目在现有厂区内新增6#设备间为存放三氯氢硅的槽车气站使用场所，新增 7#设备间为存放氯化氢的槽车气站使用场所，建设主体为中国电子科技集团公司第四十六研究所，使用主体为中电晶华（天津）半导体材料有限公司；本项目主要生产设备在现有厂房内建设生产，现有厂房建筑面积、占地面积不变。建设内容主要为：购置安装外延炉及其配套设备设施（尾气处理器、气体纯化系统、气体面板及管道、 外延清洗设备、测试仪器（表面颗粒度测试仪、外延电阻率测试仪、几何参数测试仪））等，部分设备利旧，不涉及现有工程改造，本项目建成后预计增加产量 6～8 英寸硅外延片 100 万片。






建设单位：中电晶华（天津）半导体材料有限公司

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