该项目是建设芯片的国产化分析检测服务平台，为了解决国家芯片领域里高端分析检测技术能力不够和产能不足的问题。符合十四五规划，实现科技自立自强的目标。在透射电子显微镜、二次离子质谱、扫描电容显微镜等分析检测技术上，攻关世界级技术难题，实现一系列技术创新。?????\n项目总投资3亿元，主要建设内容包括：?????\n①占地面积：3000平方，建设包括失效分析实验室、可靠性实验室和化学分析实验室。投资2千万元；②购买设备9台，投资2.7亿元；③研发TEM,SIMS,SCM等先进检测技术。
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ICP备08001231号