对异质结太阳电池关键核心镀膜设备(热丝CVD)和关键部件、材料进行国产化替代攻关,使得整线设备国产化率达到100%,并颠覆性超越进口设备,实现完全自主可控。1.开发异质结太阳电池用热丝CVD成套设备及其自动化,单套设备产能≥600兆瓦,单吉瓦产线的热丝CVD设备成本≤1亿元,各方面性能达到该技术领域全球第一。2.建设基于热丝CVD的异质结电池工艺试制线、量产研发型热丝CVD设备试制线、规模化先进产能热丝CVD设备生产线(年产能不低于10GW)等。|&|&|采购机器人,龙门加工中心等生产设备,探针测试台、椭偏光偏振仪、准稳态光导寿命测试仪、氦质谱检漏仪、全面积量子效率测试仪、光成像分析系统等测试分析设备,建设半导体装备工程中心,形成年产不低于10GW的异质结太阳电池热丝CVD设备的产能。项目总投资50000万元,计划于202607建成。
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