项目总投资244925万元,新建标准厂房,新建三废处理设施,新增密闭反应釜、单锥干燥器、双锥干燥器等设备,按标准化布局后能基本实现重力流、密闭化,项目建成后形成年产约8000吨光刻材料的生产能力。
环保工程
废气:本项目废气主要为二氯甲烷、非甲烷总烃、DMF、甲苯、乙酸、乙酸乙酯、二氯乙烷、环氧氯丙烷、四氢呋喃、甲醇、NOx、氯化氢、硫酸雾等工艺废气,以及污水站、危废仓库等公用辅助工程废气。本项目分类、分质预处理,车间共分为4类废气,车间含卤素有机废气经过喷淋预处理后接入末端树脂吸附处理后外排,车间其他不含卤有机废气经过喷淋预处理后接入末端RTO焚烧装置,酸性无机废气(氯化氢、氟化氢)经过除氟+降膜吸收+碱吸收后外排,含氢废气车间喷淋后直排。
废水:本项目废水主要有工艺废水、废气吸收水、设备清洗废水、生活污水、循环冷却水排水、制纯水废水、锅炉废水、初期雨水等。主要污染因子为pH、CODCr、总氮、AOX、三氯甲烷、总镍、总磷、丙烯酸等,设置污水排水管、清下水和雨水排水管网。车间所有废水均做到应收应纳,本项目废水依托厂内新建污水站处理,处理后的废水达到东阳市第二污水处理厂二期工程设计(工业废水)要求后纳入园区污水管网。
固废:本项目固废主要为精馏残渣、滤渣、废包装材料、废水处理污泥、废树脂、盐渣、废溶剂等危险固废,一般化学品包装材料、生活垃圾、氟化钙等一般固废。危险废物全部委托有资质单位焚烧或填埋处置;一般固废也全部委托资质单位进行处置。
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