本项目为年产 6000 万个 IPM 模块扩产项目,总投资10354.5 万元。
废气:真空回流炉、烘烤和塑封加热硬化工序中产生的非甲烷总烃收集后经活性炭吸附(吸附效率 80%),由25m 排气筒排放。
废水:生活污水直接排入市政污水管线,清洗废水及地面清洁废水排入废水收集池(容量 14m3)均质后与生活污水经现有华微电子 97 号厂区总排口排入市政管网,废水收集池位于吉林华微电子 97 号厂区的综合动力站内。
固废:1、生活垃圾由环卫部门统一收集处理。2、边角废料和废弃包装材料出售给废旧资源回收站处理。3、不合格产品返回产品定制企业。4、废活性炭暂存危废间,危废间位于材料厂房一层废品储存间内,定期委托有资质单位处理。危废暂存间面积6m2,为一般防渗,要求其防渗性能应等效于1m厚、渗透系数为1.0×10-10cm/s的黏土层的防渗性能。
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