高硅基OLED微显示模组组装一期技术改造项目

本项目基于现有高硅基OLED微显示模组组装一期项目的基础上技术改造，引进进口先进端子刻蚀设备1台，主要工艺为对产品表面进行干法刻蚀清洁工艺，主要使用原辅材料为三氟化氮、氩气和氮气，配套技术改造动力供应系统和废气处理设施包括，本次改建主要用于提升产品品质，改建后原有月产能1.3寸硅基OLED显示屏模组100万片的产能不变；该项目不使用国家淘汰或禁止使用的设备，该项目不使用工/中频炉。项目不购置燃煤锅炉，不是“两高”（高污染、高能耗）行业。根据《产业调整指导目录》该项目属于鼓励类，具体符合产业项目为：显示屏元器件制造及生产专用设备：薄膜场效应晶体管LCD(TFT-LCD)、有机发光二极管（OLED）、Mini-LED/Micro-LED显示。
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