江苏无锡某公司新建半导体均匀器项目配套环保处理设施

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建设性质：新建（租赁厂房）；
建设地点：无锡市锡山区鹅湖镇通湖路 12 号；
半导体均匀器生产工艺流程：精密机床加工→测量编号→预脱脂清洗→喷砂→二次预清洗→电烘干→遮蔽→熔射→等离子喷涂→超声波清洗→电烘干→检验→组装、包装入库→成品。
半导体均匀器保养工艺流程：测量→酸碱清洗/浸泡擦拭/超高压水刀及干冰清洗→一次预清洗→二次预清洗→超声波清洗→电烘干→检验→组装、包装入库→成品。
总投资：10300 万元，其中环保投资 351 万元；
工作制度：年工作 300 天，两班制 16 小时（8:00-24:00）生产，年工作4800 小时；
职工人数：职工及管理人员共计 90 人；
废气
喷砂：设备配套布袋除尘装置 12 套
熔射：湿式除尘装置 1 套
等离子喷涂：湿式除尘装置 1 套
酸洗：两级碱喷淋塔 1 套
浸泡：两级活性炭吸附装置 1 套
固废
一般固废：一般固废堆场 12m2 固废分类堆放，无渗漏
危险固废：危险固废仓库 55m2 固废分类堆放，无渗漏
生活垃圾：带盖垃圾桶若干 。

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