占地面积:本次项目在现有工程厂区内北侧 32016 平方米(65 亩)空地进行建设
工程投资:77500 万元
劳动定员:新增 64 人
工作制度:五班三运转,每班 8 小时,年工作365 天
生产规模:生产 300 毫米低阻硅单晶 20 吨/年;生产 300 毫米优质外延片129600 片/年10 生产工艺晶棒主要生产工艺包括长晶、切段、滚圆、晶棒质量检测;外延片的生产工艺包括外延生长、检测、清洗
生产设备:长晶炉、外延生长设备、检测设备、清洗设备等
建设周期:24 个月
污水站
CMP 研磨废水处理系统工艺:“CMP 研磨废液调节槽+CMP PH 反应槽+CMP 混凝槽+CMP 絮凝槽+研磨废水沉淀槽+研磨废水中继槽”,处理规模 600m3 /d;含氟废水处理系统工艺:“研磨含氟废水调节槽+前处理槽+pH 反应槽 1+快混槽+慢混槽+ 研磨含氟沉淀槽+研磨含氟澄清槽”,处理规模 1400m3 /d;生化系统处理工艺:“生化 pH 调节槽+无氧槽+好氧槽+MBR 膜” 处理规模 1440m3 /d;酸碱废水处理系统工艺:“酸碱废水调节槽+NO.1 中和槽+NO.2 中和槽+放流监视槽”,处理系统规模3000m3 /d。
废气处理系统
1、本次工程污水处理站依托现有工程,新增废水处理产生的氨、硫化氢、臭气浓度依托现有工程“UV 光解+碱喷淋吸收塔”处理后经过 1 根 25m 高排气筒排放 2、本次新增员工就餐依托现有工程食堂,新增员工新增的食堂油烟依托现有工程油烟净化装置处理后由 1 根15m 高排气筒排放 3、本次长晶废气经过真空泵前端自带的滤筒除尘器处理,与真空泵油雾一起经过油雾净化装置处理,拆炉废气经过弹匣式除尘器预处理后,长晶废气、真空泵油雾废气、拆炉废气经过一套碱喷淋装置处理后经过 30m 高的排气筒排放。4、晶棒质量评价废气经过三级碱喷淋装置处理后经过30m高的排气筒排放; 5、外延生长/特气柜废气经过碱吸收处理后经过30m 高的排气筒排放; 6、清洗废气(石英零组件清洗废气 G2-2&阻值检测前清洗废气 G2-3&缺陷放大检测废气 G2-4&最终清洗废气G2-5)经过一套碱液吸收+水吸收处理装置处理后经过30m 高的排气筒排放
固废
本项目一般固废主要包括废坩埚、埚底料、头尾料、不合格品、污水站污泥、废包装桶,纯水制备废反渗透膜、废树脂;危险废物包括含砷真空泵废油、晶棒质量评价含铬检测废液、含汞检测废液、缺陷放大含铬检测废液、含砷废包装瓶、长晶炉拆炉粉尘除尘器除尘灰以及除尘器废滤筒。一般固废及危险废物均依托现有工程一般固废暂存间(400m2)及危险废物(200m2)暂存间暂存,最终外售或委托处理,均能合理处置。
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