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发布日期: 2025-5-19 数据编号: 8299630 所属类别: 设备材料

上海中国科学院上海微系统与信息技术研究所高精度薄膜转印图案刻蚀模块采购公开招标公告

项目概况 中国科学院上海微系统与信息技术研究所高精度薄膜转印图案刻蚀模块采购 招标项目的潜在投标人应在上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室获取招标文件,并于2025年06月09日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。

一、项目基本情况
项目编号:STC25A149
项目名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所高精度薄膜转印图案刻蚀模块采购
预算金额:470.000000 万元(人民币)
最高限价(如有):470.000000 万元(人民币)
采购需求:采购1套高精度薄膜转印图案刻蚀模块,包括工艺腔体、晶圆承载台、真空系统,气路系统、等离子体源五大部分。具体详见招标文件。
合同履行期限:交货期:合同签订后6个月内。
本项目( 不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求:
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:本项目非专门面向中小企业的项目、节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、优先采购贫困地区农副产品等政府采购政策。

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