拟购置接触式曝光机，感应耦合等离子体刻蚀机，光学镀膜机等各类生 产、检测及辅助设备约 82 台（套）。项目建成后，年产 3600 万颗通信波段激光器项目 （国家产业限制类和淘汰类除外）。
废气：材料生长过程产生的PH3、非甲烷总烃收集后经1套吸附水洗式Scrubber处理后达标排放，晶圆清洗、光刻胶涂覆、光刻胶烘烤、显影、去除光刻胶、晶圆贴片工序产生的非甲烷总烃收集后经1套二级活性炭吸附装置处理后达标排放，介质膜沉积工序产生的NH3、SiH4收集后经1套燃烧水洗式Scrubber
处理后达标排放，介质膜刻蚀工序产生的氟化物收集后经1套燃烧水洗式Scrubber
处理后达标排放，干法刻蚀工序产生的Cl2、PH3收集后经1套燃烧水洗式Scrubber
处理后达标排放，湿法蚀刻工序产生的HCl、磷酸雾、氟化物、PH3、NH31套二级碱洗塔装置处理后达标排放。
噪声：本项目噪声源经采取隔声、减振和空间距离衰减措施后，项目厂界噪声能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。
废水：生活污水接入市政污水管网进入污水处理厂处理；工业废水经自建废水处理设施处理后循环使用，不外排。
固废：本项目所有固废零排放。
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ICP备08001231号