高纯电子气体及半导体前驱体项目(二期)利用现有车间三、车间四、车间五及新建甲类车间(原仓库四、仓库五拆除重建)进行建设,并在车间三北侧新建一栋甲类库房及一栋丙类库房(危险废物暂存库),总投资20000万元,建成后主要产品为高纯电子气体(包括高纯氦、高纯氩、高纯氮、高纯三氟碘甲烷、高纯乙炔、高纯二氧化硫、高纯硫化氢、高纯一氧化氮、高纯三氟化硼11、乙硼烷混合气、硅磷烷混合气和氢锗烷混合气)及半导体前驱体(包括高纯四甲基硅烷、高纯三甲基铝、高纯三硅基氨和高纯二氯硅烷),产量分别为 416.832t/a、325t/a。
废气:
超纯氨废气治理设施 采用三级水吸收+一级酸吸收(H2SO4)回收净化,净化后的尾气由18.6m 高DA001排气筒有组织排放
高纯三氯化硼废气治理设施 不凝气由1套尾气吸收塔处理,吸收液为二级碱液,设计吸收效率为95%,吸收尾气经管道引至25m 高DA002排气筒有组织排放 不凝气由1套尾气吸收塔处理,吸收液为一级碱液,设计吸收效率为80%,吸收尾气经管道引至25m 高DA003 排气筒有组织排放
高纯一氧化氮废气治理设施 再生废气由1套尾气吸收塔处理,吸收液为二级碱液,设计吸收效率95%,吸收尾气经管道引至15m 高DA004 排气筒有组织排放
高纯氧硫化碳废气治 吸附剂再生废气由1套尾气吸收塔处理,吸收液为二级碱液,设计吸收效率为95%,吸收尾气经管道引至15m 高DA005
废水:
纯水制备浓水、新钢瓶清洗废水、地面清洁废水及经化粪池腐化的员工生活污水一起由厂区自建的污水处理站进行处理,处理后的尾水经厂区污水总排口排入市政污水管网,最终进入松木岛污水处理厂进行集中处理。
噪声治理:
选用低噪声设备,设置隔振垫、减振器,设置隔声罩壳,设置独立封闭的真空泵房,厂房隔声,柔性连接及消音器等
固体废物处置:
废干燥剂、废反渗透膜、废包装袋、废研磨石和废塑料膜等收集后暂存于厂区一般工业固体废物暂存库(位于仓库三),定期外运至指定的工业垃圾场;残渣、废吸附剂、废滤芯、合成釜残、过滤器收集的颗粒物、废布袋、废吸收液、废碱液和废机油等收集后暂存于厂区危险废物暂存库(位于仓库三),定期交由有资质单位进行无害化处置。
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