江苏无锡华润上华科技有限公司8A4套注入机台source干泵改造购买公告

资格预审公告
公告编号：DZXYGG202309260007
一、采购项目基本情况
采购人：无锡华润上华科技有限公司
采购项目名称：8A 4套注入机台source干泵改造购买
采购项目编号：DZCGXY202309260007
采购内容和范围：8A 4套注入机台source干泵改造购买
是否采用费率寻源：否
二、申请人资格要求
资格: 1.资格要求：厂商具有4年以上8寸及以上量产半导体晶圆工厂销售业绩。
2.业绩要求：
A．自2020年至今，持续在8寸及以上量产半导体晶圆工厂内有销售安装实例的。（要求提供实际安装清单及证明材料）
90 m3/h 8寸及以上量产半导体工厂CVD Producer机台L/L腔近2年装机数量不小于30台。
3.技术要求：所供干泵产品技术满足此项目工艺及设备端的技术要求，详见RFQ。（如无法满足RFQ需求，则不考虑购买此供应商的干泵）
A.对于厂商所提供的干泵型号需要得到工厂模组的认可，如出现的新供应商或干泵新型号，模组要求Demo的，必须Demo认证合格后方可批量购买。