江苏无锡华润上华科技有限公司8A2套Producer机台LL改造干泵购买公告
资格预审公告
公告编号:DZXYGG202309270001
一、采购项目基本情况
采购人:无锡华润上华科技有限公司
采购项目名称:8A 2套 Producer机台L/L改造干泵购买
采购项目编号:DZCGXY202309270001
采购内容和范围:8A 2套 Producer机台L/L改造干泵购买
是否采用费率寻源:否
二、申请人资格要求
资格: 1.资格要求:厂商具有4年以上8寸及以上量产半导体晶圆工厂销售业绩。
2.业绩要求:
A.自2020年至今,持续在8寸及以上量产半导体晶圆工厂内有销售安装实例的。(要求提供实际安装清单及证明材料)
90 m3/h 8寸及以上量产半导体工厂CVD Producer机台L/L腔近2年装机数量不小于30台。
3.技术要求:所供干泵产品技术满足此项目工艺及设备端的技术要求,详见RFQ。(如无法满足RFQ需求,则不考虑购买此供应商的干泵)