上海晶圆级等离子体增强薄膜沉积设备的公开招标公告
项目概况
晶圆级等离子体增强薄膜沉积设备 招标项目的潜在投标人应在上海市瞿溪路350号1楼(上海健生教育配置招标有限公司)获取招标文件,并于2024年10月30日 10:00(北京时间)前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号:310000000230831132257-00039082
项目名称:晶圆级等离子体增强薄膜沉积设备
预算编号: 0023-W00043527
预算金额(元): 2780000(财政资金)
最高限价(元): 2780000
采购需求:晶圆级等离子体增强薄膜沉积设备
包名称:晶圆级等离子体增强薄膜沉积设备
数量:1
预算金额(元):2780000
简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:晶圆级等离子体增强薄膜沉积设备
合同履约期限: 合同签订后6个月内
本项目( 不允许 )接受联合体投标。
二、申请人的资格要求: