陕西高精度光学膜厚测量系统项目公告

1. 招标条件
本招标项目高精度光学膜厚测量系统（项目名称）的招标人为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，招标项目资金来自国拨资金。该项目已具备招标条件，现进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标编号：TC2412PP1
2.2 项目名称：高精度光学膜厚测量系统
2.3 数量：1套
2.4 技术规格：高精度光学膜厚测量设备，由椭偏仪部分和测控计算机部分组成。椭偏仪部分实现待测材料光学信息采集，包括光学双臂（起偏臂，检偏臂）、光源、多维样品台、微区可视相机、激光找平系统等。计算机部分控制椭偏仪操作与数据处理，包含数据分析软件与材料库。本设备用于快速无损精确获取单层、多层各向同性/各向异性微纳级别光学薄膜的折射率、膜厚和均匀性等光学参数信息测量表征。波长测量范围：210nm-1690nm；厚度重复性优于0.05nm。更多指标详见第五章供货要求。
2.5 交货地点：用户现场指定地点。
2.6 交货期：合同签字并盖章生效后3个月内（含包装运输、现场安装、调试、培训等，达到交付与验收状态）
3. 投标人资格要求