航空工业集团Phase3-1在线蒸镀膜厚测量设备公告

 Phase3-1 在线蒸镀膜厚测量设备招标公告
1.招标条件 
本招标项目Phase3-1 在线蒸镀膜厚测量设备,招标人为厦门天马显示科技有限公司，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对Phase3-1 在线蒸镀膜厚测量设备进行公开招标。
2.项目概况与招标范围 
项目概况与招标范围：Phase3-1 在线蒸镀膜厚测量设备 在线蒸镀膜厚测量设备1台 
招标编号：0730-254010020003-41
包名称：Phase3-1 在线蒸镀膜厚测量设备
数量：在线蒸镀膜厚测量设备1台
简要技术要求：
（1）主要用于OLED产品，蒸镀完成之后，在氮气环境下进行(1)膜厚(2)穿透率(3)电阻值的检测，在短时间内对OLED成膜制程进行高精度的检测监控；
（2）必要设备组成：
1、氮气环境手套箱，2、吸附玻璃移动平台，3、对位单元，4、椭圆偏光量测器，5、穿透率测量头，6、电阻量测头（4PP测量头）；