航空工业集团涡轮分子泵(二次招标)
涡轮分子泵(二次招标)招标公告
1.招标条件
本招标项目涡轮分子泵(二次招标),招标人为厦门天马显示科技有限公司,招标项目资金已落实,该项目已具备招标条件,现对涡轮分子泵(二次招标)进行公开招标。
2.项目概况与招标范围
项目概况与招标范围:涡轮分子泵 151台
招标编号:0730-254010020003-34
包名称:涡轮分子泵(二次招标)
数量:151台
简要技术要求:
(1)本设备应用于干刻、离子注入设备工艺腔真空处理过程;
(2)干刻机台使用涡轮分子泵共124台,其中备用泵30台;
(3)离子注入机台机台使用涡轮分子泵共27台,其中备用泵3台。
3.投标人资格要求
3.1 投标人资格要求: