江苏无锡华润上华科技有限公司无锡华润微电子干泵集采标段二:Clean制程干泵公告
资格预审公告
公告编号:DZXYGG202505140045
一、采购项目基本情况
采购人:无锡华润上华科技有限公司
采购项目名称:无锡华润微电子干泵集采标段二:Clean 制程干泵
采购项目编号:DZCGXY202505140029
采购内容和范围:无锡华润微电子干泵集采标段二:Clean 制程干泵
是否采用费率寻源:否
二、申请人资格要求
1. 资格要求:生产原厂(提供营业执照)或原厂官方代理商(提供代理商证)。
2. 业绩要求:2022年1月1日起至投标截止日,持续在8寸及以上量产半导体晶圆工厂内有销售安装实例的,≥550m3/h 对应型号在8寸及以上量产半导体晶圆工厂Clean制程近2年装机数量不少于50台(提供合同或销售订单)。
3. 技术要求:满足发包规范所有技术要求(提供盖章确认发包规范附件)