江苏掩膜光刻机(SEU-ZB-250421)采购公告

东南大学电子科学与工程学院掩模光刻机采购项目招标公告
东南大学电子科学与工程学院掩模光刻机采购项目的潜在投标人应在
微信公众号“苏
美达达天下”
获取招标文件，并于
2025
年
7
月
17
日
14
点
00
分（北京时间）前递交投标文
件。
一、项目基本情况
项目编号：
0664-2540SUMECZF098
（
SEU-ZB-250421
）
项目名称：
东南大学电子科学与工程学院掩模光刻机采购
预算金额：
370
万元
最高限价：
3
60
万元
（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理
费），超过最高限价的为无效投标文件
采购需求：
电子科学与工程学院采购掩模光刻机
1
套，主要技术参数：
1)
分辨率：≤
0.8um(i
线，光刻胶厚度
1um
，真空接触，等间距图形
)
。
≤2.5um(i
线，光刻胶厚度
1um
，曝光间隙
20um
，等间距图形
)
。
2)
光强均匀度：≤
±2.5
％，其中在最大晶圆尺寸区域测量至少
9
个点，均匀性
=±
（最大值–最小值）
/
（最大值
+
最小值）。
3
）
正面对准精度≤
±0.5um
，背面对准精度≤
±1.0um
。
合同履行期限：
境外产品：开具信用证后
270
天内设备安装调试合格。
境内产品：合同签订后
270
天内设备安装调试合格。
本项目不接受联合体投标。
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
本项目
(
非专门
)
面向中小企业采购。
本项目
(
非专门
)
面向监狱企业采购。
本项目
(
非专门
)
面向残疾人福利性单位采购。
二、申请人的资格要求：
1.
满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：
（
1
）具有独立承担民事责任的能力（提
供
法人
或者
其
他组织
的
营
业
执照
，
自然
人的
身
份
证
明
）
；
（
2
）具有
良好
的
商
业信
誉
和
健全
的
财务会计制
度（提
供
参
加
本
次
政府采购
活动
前
半
年
内（至少一个月）的
会计报表
（至少
包
含资产
负债表及
利
润表
）
或者
2023
年度
或
2024
年
度的
财务审计报
告，
成
立不足一年的提
供
开标前
六
个月内的
银
行资信证
明原
件。
）
；
（
3
）具有履行合同所
必
需的设备和专业技术能力，提
供
证
明材料或
承
诺函；
（
4
）有
依
法
缴纳税收
和
社会保障
资金的
良好记录
，提
供纳税凭据复印
件
加盖
公
章
。
（
依
法
免税
的应提
供相
应文件
说明
）、
依
法
缴纳社会保障
资金的
凭据复印
件（
凭据可以是
缴
费的
银
行单
据
、专用
收据
、
社会保险缴纳清
单
或者
所在
社保
机
构
开具的证
明
等，