航空工业集团等离子增强化学气相沉积专用干泵公告

 等离子增强化学气相沉积专用干泵招标公告
1.招标条件 
本招标项目等离子增强化学气相沉积专用干泵,招标人为武汉天马微电子有限公司上海分公司，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对等离子增强化学气相沉积专用干泵进行公开招标。
2.项目概况与招标范围 
项目概况与招标范围：等离子增强化学气相沉积专用干泵 14台（Non-Harsh：10台、Harsh：4台） 
招标编号：0730-254010020011-06
包名称：等离子增强化学气相沉积专用干泵
数量：14台（Non-Harsh：10台、Harsh：4台）
简要技术要求：
（1）干泵主要为面板行业化学气象沉积机的配套抽真空设备；
（2）平均故障间隔时间：Non-Harsh≥10000H，Harsh≥25000H,投标文件中需要提供说明资料；
（3）抽气能力要求，投标人需在投标文件中提供说明资料。 
3.投标人资格要求