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发布日期: 2025-7-16 数据编号: 8818942 所属类别: 设备材料

氧化膜CMP设备-公开招标公告

招标公告

1. 招标条件

本招标项目氧化膜CMP设备招标人为中国电子科技集团公司第二十四研究所,招标项目资金来自国拨资金,出资比例为100%。该项目已具备招标条件,现对氧化膜CMP设备进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号:ZKX20250429A005

2.2 招标项目名称:氧化膜CMP设备 。

2.3 数量:1台。

2.4 主要功能要求:该设备为国产全新8寸氧化膜CMP设备,自带SMIF(或同类装置),RFID及EAP通讯功能,配置四研磨头,三或四研磨台设计,具备CMP、HF&氨水&双氧水清洗、甩干等功能,可用于氧化膜和多晶硅CMP。

2.5 交货地点:重庆沙坪坝西永微电园西永大道23号中国电子科技集团公司第二十四研究所项目现场。

2.6 交货期:合同生效后120天

3. 投标人资格要求

3.1投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织,具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。


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