在半导体工业中，超纯水被用在晶圆的清洁和蚀刻上。尤其是晶圆残渣，它是造成晶圆工厂中超纯水大量消耗的主要原因。在制药工业中，高纯度的水可以做为产品的成分之一，也可以在生产加工中使用。洁净室洗烫业尽管只占整个超纯水市场的一小部分份额，但是在洁净室市场中，他们却是超纯水的一个主要用户。其他对超纯水有使用要求的工业领域包括液晶显示器、生物技术以及实验室业务。
超纯水是利用提纯技术将市政用水在现场提纯，减少其中的污染物浓度，例如，溶解固体和离子，特别是导致水质过硬的成分，如钙和镁等。
在先进国家购买净水设备时，厂商会随机附送安装及操作、维护手册，民众仅需依照手册上所说明的事项操作即可。而认证单位(在美国是国家卫生基金会，NSF)会依照净水设备种类及其相关文件进行测试，合于标准的净水设备才给予认证。在国内则应以通过中国国家标准方法(CNS)的认证才是好的净水设备，且民众应找具有完善操作及维护手册及良好售后服务的净水设备厂商购买净水设备。
每一种净水设备均非万能，购买前应先了解净水设备功能与当地自来水的水质状况，以免浪费金钱而又得不到预期的效果。例如某些水质并不适用于逆渗透法，在水中含氯或铁过高，可能会造成薄膜受损。又如果水中含铁过高，则会损及紫外线杀菌净水设备的效果。此外，使用净水设备时进水温度应避免过高，许多净水设备或滤心在温度高时，处理效果变差，材料也会受损并减少使用寿命。在新使用的滤心型净水设备或净水单元时(包括活性碳净水设备及阳离子交换树脂软水器)应先使用清水浸泡过至少15分钟以上，或以清水冲洗，以去除滤心中之杂质。以逆渗透净水系统而言，前置活性碳滤心及逆渗透膜各约需使用20公升左右的水冲洗，以去除碳粒及逆渗透膜保存液。
