申请日2007.11.28
公开(公告)日2012.11.14
IPC分类号C02F1/44; B01D65/00; B24B55/12
摘要
本发明提供一种废水处理系统(20)，其具有：在硅加工废水中注入二氧化碳气体制成被处理废水的二氧化碳气体注入设备(3);废水容器(2);过滤被处理废水的过滤膜(11);将被处理废水送液至过滤膜(11)的送液泵(9);以及循环送液控制设备(30)，该设备能够在废水容器(2)中的被处理废水的量减少到基准量以下时，将浓缩水或浓缩水和过滤水送液至废水容器(2)，并同时将被处理废水的pH调整至4.0～6.5，送液至过滤膜(11)。
权利要求书
1.一种废水处理系统，其为过滤处理含有硅加工屑的硅加工废水的废水 处理系统，其特征在于，具备：
在所述硅加工废水中注入酸性流体，得到pH为4.0～6.5的被处理废水的 酸性流体注入设备;
贮存所述被处理废水的废水贮存设备;
过滤所述被处理废水，分离成所述硅加工屑的含有比例增加的浓缩水和过 滤水的过滤设备;
将所述被处理废水从所述废水贮存设备送液至所述过滤设备的送液设备; 以及
循环送液控制设备，该设备能够在所述废水贮存设备中贮存的所述被处理 废水的量减少到基准量以下时，或被分离的浓缩水和/或过滤水的量超过基准 量时，连续地或间歇地，将所述被处理废水的pH调整至4.0～6.5，送液至所 述过滤设备，并同时将所述浓缩水和所述过滤水送液至所述废水贮存设备。
2.根据权利要求1所述的废水处理系统，其中，与即将流入到所述过滤 设备的所述被处理废水的pH联动，将所述被处理废水的pH调整至4.0～6.5， 送液至所述过滤设备。
3.根据权利要求1所述的废水处理系统，其中，所述酸性流体为二氧化 碳气体。
4.根据权利要求1所述的废水处理系统，其中，所述硅加工屑为由硅锭 的外周磨削而生成的物质。
5.一种废水处理方法，其为过滤处理含有硅加工屑的硅加工废水的废水 处理方法，其特征在于，使用权利要求1～4任一项所述的废水处理系统。
说明书
废水处理系统和废水处理方法
技术领域
本发明涉及一种用于从在硅的磨削加工或研磨加工等中产生的硅加工废 水中除去硅加工屑的废水处理系统，以及使用该废水系统的废水处理方法。
背景技术
硅单晶通过进行磨削加工或切断加工等机械加工而被制成硅晶片。例如， 首先，磨削单晶硅棒的外面后，切割成容易操作的规定长度的切割棒，然后供 给到用于拾取晶片的切片加工中。
在单晶硅棒的磨削加工或切断加工(硅加工)时，使用工业用水、井水、 市政用水或纯水等的磨削水。因此，在硅加工中产生的硅加工废水中，含有含 硅微细粉的大量硅加工屑。该硅加工废水在废物处理或再利用时，由于需要分 离所含有的硅加工屑，因此，一般要进行使用带有各种过滤膜的废水处理系统 进行过滤处理。
作为关联的以往技术，公开了以下的废水处理方法和处理系统：通过注入 特定的酸性成分使处理对象的硅加工废水成为酸性后，用过滤膜过滤，抑制堵 塞过滤膜成分的生成(例如，参照专利文献1～3)。
专利文献1：日本特公平6-69551号公报
专利文献2：日本特开2002-50596号公报
专利文献3：日本特开2005-21805号公报
发明内容
在作为处理对象的硅加工废水的供给量或过滤水等的注入量等受到限制 的情况，或在进行废水处理系统的维修的情况等时，需要停止废水处理系统的 运转。但是，短时间或长时间的停止废水处理系统的运转后，如果再次开动， 即使使用专利文献1～3中公开的处理系统，也会有在过滤膜中产生急剧堵塞 的情况。
本发明是鉴于像这样的以往技术中存在的问题而完成的发明，本发明的课 题是，提供一种极难收到作为处理对象的硅加工废水的供给量或过滤水等的注 入量等的限制、或运转停止等外界因素影响的、在过滤膜中不会产生急剧堵塞 的、能够以长期稳定状态进行硅加工废水的处理的废水处理系统，和废水处理 方法。
本发明人等对应实现的上述课题进行了深入研究，其结果为，在对过滤膜 产生急剧堵塞时的体系内的硅加工废水进行分析时，发现在注入二氧化碳气体 后即刻，具有充分酸性状态的硅加工废水的pH上升至中性(=7)附近。另外， 对于在硅加工废水中含有的固体成分中金属硅所占的比例进行分析时，发现与 注入二氧化碳气体后即刻相比，过滤膜产生急剧堵塞时的硅加工废水的金属硅 的浓度减少。从这些分析结果可知，即使是注入有二氧化碳气体的硅加工废水， 如果在用过滤膜进行过滤处理之前经过相当长的时间，液性也从中性变为碱 性，容易渐渐地生成胶状的高分子析出物。
即，由本发明提供一种以下所示的废水处理系统和废水处理方法。
一种废水处理系统，其为过滤处理含有硅加工屑的硅加工废水的废水 处理系统，其特征在于，具备：在所述硅加工废水中注入酸性流体，得到pH 为4.0～6.5的被处理废水的酸性流体注入设备;贮存所述被处理废水的废水贮 存设备;过滤所述被处理废水，分离成所述硅加工屑含有比例增加的浓缩水和 过滤水的过滤设备;将所述被处理废水从所述废水贮存设备送液至所述过滤设 备的送液设备;以及循环送液控制设备，该设备能够在所述废水贮存设备中的 所述被处理废水的量降低到基准量以下时，或被分离的浓缩水和/或过滤水的 量超过基准量时，将所述被处理废水的pH调整至4.0～6.5，连续地或间歇地 送液至所述过滤设备的同时，将所述浓缩水、或所述浓缩水和所述过滤水送液 至所述废水贮存设备。
根据前述[1]所述的废水处理系统，其中，与即将流入到所述过滤设备 的所述被处理废水的pH联动，将所述被处理废水的pH调整至4.0～6.5，送 液至所述过滤设备。
一种废水处理系统，其为过滤处理含有硅加工屑的硅加工废水的废水 处理系统，其特征在于，具备：在所述硅加工废水中注入酸性流体，得到pH 为4.0～6.5的被处理废水的酸性流体注入设备;贮存所述被处理废水的废水贮 存设备;过滤所述被处理废水，分离成所述硅加工屑的含有比例增加的浓缩水 和过滤水的过滤设备;将所述被处理废水从所述废水贮存设备送液至所述过滤 设备的送液设备;以及送液再开控制设备，该设备能够在从所述废水贮存设备 向所述过滤设备的所述被处理废水的送液停止了规定期间时，在将至少从所述 废水贮存设备的紧邻其后到所述过滤设备的紧邻其前这段流路内部滞留的所 述被处理废水的一部分或全部排出到所述流路的外部后，再开始进行从所述废 水贮存设备到所述过滤设备的所述被处理废水的送液。
根据前述[1]～[3]中任一项所述的废水处理系统，其中，所述酸性流体 为二氧化碳气体。
根据前述[1]～[4]中任一项所述的废水处理系统，其中，所述硅加工屑 为由硅锭的外周磨削而生成的物质。
一种废水处理方法，其为过滤处理含有硅加工屑的硅加工废水的废水 处理方法，其特征在于，使用前述[1]～[5]中任一项所述的废水处理系统。
本发明的废水处理系统获得以下效果：极难受到作为处理对象的硅加工废 水的供给量或过滤水等的注入量等的限制、或运转停止等外界因素的影响，在 过滤膜中不会产生急剧堵塞的，能够以长期稳定的状态进行硅加工废水的处 理。
根据本发明的废水处理方法，极难受到作为处理对象的硅加工废水的供给 量或过滤水等的注入量等的限制、或运转停止等外界因素的影响，在过滤膜中 不会产生急剧堵塞，能够以长期稳定的状态进行硅加工废水的处理。
