申请日2015.08.20
公开(公告)日2015.12.30
IPC分类号F17D1/08; B08B13/00; H01L21/67; F17D3/01
摘要
本发明涉及工业废液的分类排放技术领域，具体涉及一种晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用。该系统包括多组提供清洗液的供液管路和与每组的供液管路对应的排放清洗废液的排放管路，在每条的供液管路上设置有供液气动开关阀，在每条的排放管上设置有排放气动开关阀，系统还包括输出开关信号的控制装置、由控制装置控制的供液电磁阀和由控制装置控制的排放电磁阀，供液电磁阀连接各个的供液气动开关阀，排放电磁阀连接各个的排放气动开关阀，系统还包括多条废液收集槽。通过本发明所提供的系统，可以对废液的排放进行切换，达到废液的分类排放效果，降低废液排放和回收的处理成本，提高回收化学品的品质和回收量，并有利于环保。
权利要求书
1.一种晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在于：系统包括多条提供 清洗液的供液管路(1)和与每条所述的供液管路(1)一一对应的排放清洗 废液的排放管路(2)，在每条所述的供液管路(1)上设置有供液气动开关 阀(3)，在每条所述的排放管路(2)上设置有排放气动开关阀(4)，系统 还包括输出开关信号的控制装置(5)、由所述控制装置(5)控制的供液电 磁阀(6)和由所述控制装置(5)控制的排放电磁阀(7)，所述供液电磁阀 (6)连接各个所述的供液气动开关阀(3)，所述排放电磁阀(7)连接各个 所述的排放气动开关阀(4)，系统还包括多条废液收集槽(8)，每条所述的 废液收集槽(8)将一组相互对应的供液管路(1)和排放管路(2)连通， 或者，每条所述的废液收集槽(8)将多组相互对应的供液管路(1)和排放 管路(2)连通。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在于： 在所述控制装置(5)和所述排放电磁阀(7)之间设置有延时器(9)。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在于： 在所述控制装置(5)向所述供液电磁阀(6)和所述排放电磁阀(7)发出 关闭信号后，所述延时器(9)将所述关闭信号延时3～10s后传递给所述排 放电磁阀(7)。
4.根据权利要求3任一所述的晶圆清洗设备废水的排放系统，其特征在 于：各组相互对应的供液管路(1)和排放管路(2)分别进行不同种类清洗 液的清洗。
5.根据权利要求1至4任一所述的晶圆清洗设备废水的排放系统，其特 征在于：当某条所述的废液收集槽(8)将多组相互对应的供液管路(1)和 排放管路(2)连通时，所述控制装置(5)在控制一组相互对应的供液管路 (1)和排放管路(2)工作完后，再控制另一组相互对应的供液管路(1) 和排放管路(2)工作。
6.一种根据权利要求1至5任一所述的晶圆清洗设备废水的排放系统的 应用，其特征在于：用于单片晶圆清洗设备废水的排放。
说明书
一种晶圆清洗设备废水的排放系统及其应用
技术领域
本发明涉及工业废液的分类排放技术领域，具体涉及一种晶圆清洗设备 废水的排放系统及其应用。
背景技术
在WET单片晶圆清洗过程中，会用到多种化学品，并产生相应的清洗 废液。多种废液目前一般采用混合排放，或者在硬件设计上，对废液做简单 的酸碱排放分类，然后直接排放。这种排放方式会影响厂务废液处理的难度 和成本，以及降低可回收化学品和水的品质和回收量。对废液的分类排放或 回收能够有效的降低成本和利于环保。
目前，在单片清洗制程中，最常用的制程为PRS和RCA，会有SC1， SC2，SPM、HF、IPA和DI等多种废液排放。当前的对废液排放分类不足， 或者没有分类，造成厂务废液处理的困难和成本增加。
以RCAchamber为例，会用到SC1(NH4OH、H2O2、H2O混合物)，SC2 (HCl、H2O2、H2O混合物)，HF、IPA和DI。一般使用硬件切换对IPA和 其他化学品分类排放。但由于硬件设计的空间，成本，控制可行度等限制， 很难对所有化学品全部做分类处理。
发明内容
为解决现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆清洗设备废水的排放系 统及其应用。
一种晶圆清洗设备废水的排放系统，系统包括多组提供清洗液的供液管 路和与每组所述的供液管路对应的排放清洗废液的排放管路，在每条所述的 供液管路上设置有供液气动开关阀，在每条所述的排放管上设置有排放气动 开关阀，系统还包括输出开关信号的控制装置、由所述控制装置控制的供液 电磁阀和由所述控制装置控制的排放电磁阀，所述供液电磁阀连接各个所述 的供液气动开关阀，所述排放电磁阀连接各个所述的排放气动开关阀，系统 还包括多条废液收集槽，每条所述的废液收集槽将一组相互对应的供液管路 和排放管路连通，或者，每条所述的废液收集槽将多组相互对应的供液管路 和排放管路连通。
优选的，在所述控制装置和所述排放电磁阀之间设置有延时器。
延时器可以通过供应开关的信号，延迟后来控制废液的排放开关。延时 器的时间设定由具体管路长度决定。
优选的，在所述控制装置向所述供液电磁阀和所述排放电磁阀发出关闭 信号后，所述延时器将所述关闭信号延时3～10s后传递给所述排放电磁阀。
优选的，各组相互对应的供液管路和排放管路分别进行不同种类清洗液 的清洗。
优选的，当某条所述的废液收集槽将多组相互对应的供液管路和排放管 路连通时，所述控制装置在控制一组相互对应的供液管路和排放管路工作完 后，再控制另一组相互对应的供液管路和排放管路工作。
本发明还提供了一种所述的晶圆清洗设备废水的排放系统的应用，用于 单片晶圆清洗设备废水的排放。
有益效果
通过本发明所提供的晶圆清洗设备废水的排放系统，可以对废液的排放 进行切换，达到废液的分类排放效果，降低废液排放和回收的处理成本，提 高回收化学品的品质和回收量，并有利于环保。
