公布日：2023.10.13
申请日：2023.08.17
分类号：C02F9/00(2023.01)I;C02F1/00(2023.01)N;C02F1/04(2023.01)N;C02F1/32(2023.01)N;C02F1/42(2023.01)N;C02F1/44(2023.01)N;C02F1/469(2023.01)N;C02F1/
66(2023.01)N;C02F103/04(2006.01)N
摘要
本申请提供了一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统，通过设置包括依次连接的废水回收模块、回用水池、原水池、过滤模块和净化模块的半导体行业酸碱废水的回收利用系统，对半导体企业处理后的废水进行处理，得到能够回收利用的纯水，与相关技术中半导体企业一般将废水经处理后排往城市污水处理厂的方式相比，可以对半导体企业处理后的废水进行处理并回收利用，减少环境污染的同时实现了废水的资源化回收利用，具有绿色环保节能的优点。
权利要求书
1.一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统，其特征在于，包括：依次连接的废水回收模块、回用水池、原水池、过滤模块和净化模块；所述废水回收模块，对酸碱废水进行处理，得到回用水，并将所述回用水输送到所述回用水池；所述回用水池，将回用水池输送到所述原水池中；所述原水池，能够对所述原水池中的所述回用水和新鲜原水进行均匀，得到混合自来水，并将得到的所述混合自来水输送到所述过滤模块中进行过滤；所述过滤模块，能够对所述混合自来水进行过滤，得到过滤后的混合自来水；所述净化模块，能够对所述过滤后的混合自来水进行净化，得到超纯水。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述废水回收模块，包括：依次连接的中和单元、中间水池、过滤系统以及第一反渗透系统；所述第一反渗透系统，还与所述回用水池连接；所述中和单元，能够对酸碱废水的PH值进行调节，得到PH值调节后的废水，并将得到的所述PH值调节后的废水输送到所述中间水池；所述过滤系统，对所述中间水池的出水进行预过滤，得到预过滤的废水；所述第一反渗透系统，能够对所述预过滤后的废水进行处理，降低预过滤后的废水的无机盐浓度，并去除所述预过滤后的废水的有机物，得到回用水，并将得到的所述回用水输送到所述回用水池。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括：蒸发结晶装置；所述蒸发结晶装置，分别与所述第一反渗透系统和所述回用水池连接；除了所述回用水之外，所述第一反渗透系统还产生浓水，所述第一反渗透系统将产生的浓水输送到所述蒸发结晶装置；所述蒸发结晶装置，利用蒸发结晶的方式对所述浓水进行处理，将所述浓水中的盐分和水进行分离，得到回用水，并将得到的所述回用水输送到所述回用水池中。
4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述中和单元，包括：加药泵和中和反应池；所述加药泵、所述中和反应池、所述中间水池依次连接；所述加药泵，能够向所述中和反应池的酸碱废水中加入酸或者碱；所述中和反应池，对加药泵加入的酸或者碱与所述酸碱废水进行搅拌，对所述酸碱废水的PH值进行调节，得到PH值调节后的废水，并将得到的所述PH值调节后的废水输送到所述中间水池。
5.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述过滤模块，包括：依次连接的超滤系统、换热系统、保安过滤器、第二反渗透系统、反渗透产水箱；所述超滤系统，还与所述原水池连接，所述反渗透产水箱，还与所述净化模块连接；所述超滤系统，能够对所述混合自来水中的悬浮物、胶体、微生物进行去除，得到超滤处理后的混合自来水；所述换热系统，能够对超滤处理后的混合自来水进行加热，得到加热后的混合自来水；保安过滤器，能够对加热后的混合自来水进行处理，去除所述加热后的混合自来水中的无机盐和有机物；第二反渗透系统，能够对所述保安过滤器处理后的混合自来水进行处理，继续降低所述混合自来水的无机盐浓度，并再次去除所述混合自来水的有机物，得到反渗透处理后的混合自来水，并将得到的所述反渗透处理后的混合自来水输送到所述反渗透产水箱中。
6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述净化模块，包括：依次连接的UV反应器、EDI装置、超纯水箱、以及TOC-UV装置；所述UV反应器，还与所述反渗透产水箱连接；所述UV反应器，能够对反渗透产水箱的出水进行杀菌处理，得到杀菌处理后的混合自来水；所述EDI装置，能够去除所述杀菌处理后的混合自来水中的杂质，得到超纯水，并将所述超纯水输送到所述超纯水箱中；所述TOC-UV装置，能够对所述超纯水箱的出水进行氧化降解，得到氧化降解后的超纯水。
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，还包括：与所述TOC-UV装置连接的抛光混床；所述抛光混床，对所述氧化降解后的超纯水进行纯化处理。
8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，在所述超纯水箱内通入氮气，将所述超纯水箱内的超纯水与空气隔绝。
9.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述第一反渗透系统和所述第二反渗透系统，分别包括：第一反渗透膜、第二反渗透膜以及高压水泵；所述高压水泵设置在所述第一反渗透膜和所述第二反渗透膜之间；所述高压水泵将所述第一反渗透膜处理后的水输送到所述第二反渗透膜进行处理。
10.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述过滤系统，采用多介质过滤器和/或者活性炭过滤器。
发明内容
为解决上述问题，本申请实施例的目的在于提供一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统。
第一方面，本申请实施例提供了一种半导体行业酸碱废水的回收利用系统，包括：依次连接的废水回收模块、回用水池、原水池、过滤模块和净化模块；
所述废水回收模块，对酸碱废水进行处理，得到回用水，并将所述回用水输送到所述回用水池；
所述回用水池，将回用水池输送到所述原水池中；
所述原水池，能够对所述原水池中的所述回用水和新鲜原水进行均匀，得到混合自来水，并将得到的所述混合自来水输送到所述过滤模块中进行过滤；
所述过滤模块，能够对所述混合自来水进行过滤，得到过滤后的混合自来水；
所述净化模块，能够对所述过滤后的混合自来水进行净化，得到超纯水。
本申请实施例上述第一方面提供的方案中，通过设置包括依次连接的废水回收模块、回用水池、原水池、过滤模块和净化模块的半导体行业酸碱废水的回收利用系统，对半导体企业处理后的废水进行处理，得到能够回收利用的纯水，与相关技术中半导体企业一般将废水经处理后排往城市污水处理厂的方式相比，可以对半导体企业处理后的废水进行处理并回收利用，减少环境污染的同时实现了废水的资源化回收利用，具有绿色环保节能的优点。
（发明人：曹海燕;陈爽;郝风波）
