申请日2015.08.10
公开(公告)日2015.12.23
IPC分类号C02F103/18; C02F9/04
摘要
提供一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统及处理方法，废水在污水调节罐内初调节后进入污泥池内进行一次中和，然后进入压滤机进行一次压滤，滤液进入中和罐二次中和，中和后进入过滤器进行二次过滤，滤液达标后排放，采用该系统能够实现含氯硅烷废气淋洗废水的达标处理，确保上清液的悬浮物浓度小于10mg/L，PH为6-9，满足环保要求，实现达标排放。
权利要求书
1.用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统，其特征在 于：含氯硅烷废气淋洗产生的废水(1)从污水调节罐(2)进口端进入，所 述污水调节罐(2)的出口端与污泥池(4)的一个入口端连接，所述污泥池 (4)出口端与压滤机(5)入口端连接，所述压滤机(5)的一个出口端与中 和罐(7)的一个入口端连接，压滤机(5)另一个出口端排出废渣(6)，所 述中和罐(7)出口端与过滤器(8)入口端连接，所述过滤器(8)的一个出 口端与出水罐(10)入口端连接，过滤器(8)另一个出口端排出滤渣(9)， 所述滤渣(9)通过污泥池(4)的第二个入口端进入污泥池(4)内，所述出 水罐(10)一个出口端与盛纳指标合格水容器连接，出水罐(10)另一个出 口端与应急水池(11)入口端连接，所述应急水池(11)出口端与污泥池(4) 的第三个入口端连接，浓硫酸储罐(3)的一个出口端与污泥池(4)的第四 个入口端连接，浓硫酸储罐(3)的另一个出口端与中和罐(7)的另一个入 口端连接。
2.如权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的处理 方法，其特征在于包括下述步骤：
1)初调节：含氯硅烷废气淋洗产生的废水(1)首先进入污水调节罐(2) 进行收集，在污水调节罐(2)内进行水质水量的调节;
2)一次中和：经调节后的废水，从污水调节罐(2)的罐底进入污泥池(4)， 在污泥池(4)内加入来自浓硫酸储罐3的浓硫酸进行中和处理，调节废水PH 为8.5左右;
3)一次过滤：中和后的废水经过压滤机(5)进行压滤，实现固液分离， 废渣(6)外运处理，滤液进入中和罐(7);
4)二次中和：根据中和罐(7)内滤液的pH值，进一步加入来自浓硫酸 储罐(3)的浓硫酸中和调节滤液的pH为6-9;
5)二次压滤：中和罐7的滤液通过过滤器(8)进行再次过滤，所述过滤 器(8)的出水进入出水罐(10)，过滤下来的残渣(9)进入污泥池(4)，出 水罐(10)的出水经过pH和悬浮物检测，合格后外排，不合格的出水进入应 急水池(11)，根据运行情况打入污水调节罐(2)再次处理。
3.根据权利要求2所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的处 理方法，其特征在于：上述步骤2)和步骤4)中，一次中和与二次中和均采 用浓度为98%的浓硫酸。
4.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专 用处理系统，其特征在于：所述污泥池(4)内设有使其内废水中和完全的搅 拌机。
5.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专 用处理系统，其特征在于：所述压滤机(5)为厢式压滤机。
6.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专 用处理系统，其特征在于：所述过滤器(8)为液体薄膜过滤器。
说明书
用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统及处理方法
技术领域
本发明属废气处理系统技术领域，具体涉及一种用于多晶硅生产中含氯硅 烷废气淋洗废水的专用处理系统及处理方法。
背景技术
多晶硅生产过程中产生的废气主要成分为氯硅烷、氯化氢、氢气和氮气等， 含氯硅烷废气的常用处理方法有水洗法、钙洗法和钠洗法，分别用水、石灰 乳、氢氧化钠溶液为介质与含氯硅烷废气进行反应以去除废气中的氯硅烷。 当采用石灰乳溶液水解中和处理废气中的氯硅烷和氯化氢时，淋洗产生废水 的主要成分有氯化钙、硅酸钙、二氧化硅和未反应的石灰。该废水目前多采 用中和过滤的工艺进行处理。由于废水中的硅酸钙、二氧化硅是气体和液体 反应的产物，粒径很小，常用的压滤机不能有效去除，导致出水中的悬浮物 较高，不能达标排放，造成环境影响。
发明内容
本发明解决的技术问题：提供一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废 水的专用处理系统及处理方法，废水在污水调节罐内初调节后进入污泥池内 进行一次中和，然后进入压滤机进行一次压滤，滤液进入中和罐二次中和， 中和后进入过滤器进行二次压滤，滤液达标后排放，采用该系统能够实现含 氯硅烷废气淋洗废水的达标处理，确保上清液的悬浮物浓度小于10mg/L，PH 为6-9，满足环保要求，实现达标排放。
本发明采用的技术方案：用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用 处理系统，含氯硅烷废气淋洗产生的废水从污水调节罐进口端进入，所述污 水调节罐的出口端与污泥池的一个入口端连接，所述污泥池出口端与压滤机 入口端连接，所述压滤机的一个出口端与中和罐的一个入口端连接，压滤机 另一个出口端排出废渣，所述中和罐出口端与过滤器入口端连接，所述过滤 器的一个出口端与出水罐入口端连接，过滤器另一个出口端排出滤渣，所述 滤渣通过污泥池的第二个入口端进入污泥池内，所述出水罐一个出口端与盛 纳指标合格水容器连接，出水罐另一个出口端与应急水池入口端连接，所述 应急水池出口端与污泥池的第三个入口端连接，浓硫酸储罐的一个出口端与 污泥池的第四个入口端连接，浓硫酸储罐的另一个出口端与中和罐的另一个 入口端连接。
还提供一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的处理方法，包括下 述步骤：
1)初调节：含氯硅烷废气淋洗产生的废水首先进入污水调节罐进行收集， 在污水调节罐内进行水质水量的调节;
2)一次中和：经调节后的废水，从污水调节罐的罐底进入污泥池，在污 泥池内加入来自浓硫酸储罐3的浓硫酸进行中和处理，调节废水PH为8.5左 右;
3)一次过滤：中和后的废水经过压滤机进行压滤，实现固液分离，废渣 外运处理，滤液进入中和罐;
4)二次中和：根据中和罐内滤液的pH值，进一步加入来自浓硫酸储罐的 浓硫酸中和调节滤液的pH为6-9;
5)二次过滤：中和罐7的滤液通过过滤器进行再次过滤，所述过滤器的 出水进入出水罐，过滤下来的残渣进入污泥池，出水罐的出水经过pH和悬浮 物检测，合格后外排，不合格的出水进入应急水池，根据运行情况打入污水 调节罐再次处理。
上述步骤2)和步骤4)中，一次中和与二次中和均采用浓度为98%的浓硫 酸。
进一步地，所述污泥池内设有使其内废水中和完全的搅拌机。
进一步地，所述压滤机为厢式压滤机。
进一步地，所述过滤器为液体薄膜过滤器。
本发明与现有技术相比通过对废水的初次调节、一次中和、一次过滤、二 次中和、二次过滤等过程实现对含氯硅烷废气淋洗废水的达标处理，避免环 境事故的发生。
