摘要：针对目前国内西门子法多晶硅生产工艺特点，分析了其生产废水的水质特性。结合某多晶硅企业废水处理实践。介绍了两级中和、一体化混凝沉淀过滤、机械压滤工艺和设备在多晶硅生产废水处理中的应用，应用效果显著，能满足国家排放标准和企业回用要求。
关键词：多晶硅；废水；中和；混凝沉淀；污泥压滤；达标排放；回用
由于国外先进的多晶硅生产技术长期对我国封锁，我国自主研发的技术起步较晚，还在不断完善和提升中，现在已建成投产或正在建设的国内多晶硅企业除了极少数外基本上都没有实现物料的全闭路循环，有些企业甚至连完整的回收工序都没有健全，大部分企业因技术、规模、成本等原因对氯硅烷低沸物、氯化氢、系统置换尾气均没有回收而是排到“三废”处理系统。(谷腾水网)
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