申请日2016.08.31
公开(公告)日2017.03.15
IPC分类号C02F9/14
摘要
本实用新型涉及硅片废水处理循环再利用技术利用领域,特别涉及一种硅片废水回收再利用系统。一种硅片废水回收再利用系统,包括排放水池,所述排放水池通过管道与多介质过滤器连接,所述多介质过滤器通过管道与回用水池连接,所述回用水池通过管道与真空抽水设备连接,所述真空抽水设备通过管道与回用水使用线路连接。本系统借助原废水处理系统,通过一级物化、两级生化处理、多介质过滤器深度净化后,COD约40mg/L,SS10mg/l,远远低于废水一级排放标准,通过前期测试,可用于厂区的绿化、切磨车间、线切车间预清洗、工件清洗回用使用。
摘要附图

权利要求书
1.一种硅片废水回收再利用系统,包括排放水池(1),其特征在于:所述排放水池(1)通过管道与多介质过滤器(3)连接,所述多介质过滤器(3)通过管道与回用水池(4)连接,所述回用水池(4)通过管道与真空抽水设备(10)连接,所述真空抽水设备(10)通过管道与回用水使用线路(8)连接。
2.根据权利要求1所述的硅片废水回收再利用系统,其特征在于:所述排放水池(1)通过管道与多介质过滤器(3)之间设有进水泵(2),
所述多介质过滤器(3)与回用水池(4)之间还设有反洗泵(5)。
3.根据权利要求1所述的硅片废水回收再利用系统,其特征在于:所述真空抽水设备(10)通过管道与回用水使用线路(8)之间设有变频控制器(6)、压力传感器(7)、回用水泵(9)。
4.根据权利要求1所述的硅片废水回收再利用系统,其特征在于:所述回用水泵(9)设有两个。
5.根据权利要求1所述的硅片废水回收再利用系统,其特征在于:所述排放水池(1)中的水为经过一级生化处理、二级生化处理后的水。
说明书
一种硅片废水回收再利用系统
技术领域
本实用新型涉及硅片废水处理循环再利用技术利用领域,特别涉及一种硅片废水回收再利用系统。
背景技术
现有的硅片废水回用,通过处理后只能简单的用于绿化和线切车间的工件板冲洗,不能大量用于预清洗和切磨车间使用。切磨车间使用不能断水,否则会影响生产,造成事故。另外供水压力不稳定,持续性较差。在废水处理合格后,通过池体将本来要排放的废水收集起来,通过PLC集中控制水泵,过滤装置,供应生产车间、厂区使用。供应压力稳定,是非常关键的指标,需要通过变频和恒压控制的办法,保障各个区域使用的压力值达到。
发明内容
本实用新型提供一种硅片废水回收再利用系统,适用于硅片行业废水深度处理、集中回用。
本实用新型技术方案:
一种硅片废水回收再利用系统,包括排放水池,所述排放水池通过管道与多介质过滤器连接,所述多介质过滤器通过管道与回用水池连接,所述回用水池通过管道与真空抽水设备连接,
所述真空抽水设备通过管道与回用水使用线路连接。
优选地,所述排放水池通过管道与多介质过滤器之间设有进水泵,
所述多介质过滤器与回用水池之间还设有反洗泵。
优选地,所述真空抽水设备通过管道与回用水使用线路之间设有变频控制器、压力传感器、回用水泵。
优选地,所述回用水泵设有两个。
优选地,所述排放水池中的水为经过一级生化处理、二级生化处理后的水。
本实用新型有益效果如下:
1、本系统借助原废水处理系统,通过一级物化、两级生化处理、多介质过滤器深度净化后,COD约40mg/L,SS10mg/l,远远低于废水一级排放标准,通过前期测试,可用于厂区的绿化、切磨车间、线切车间预清洗、工件清洗回用使用;
2、通过回用水池集中将水储蓄后,配套回用水泵、恒压供水控制系统、变频系统、压力监控;保障稳定的供应使用,回用水泵采用一用一备,送水流量60吨/小时,可以将压力值恒定在0.45Mpa,在压力值低于0.35Mpa时,另外一台水泵便自动启动,防止用水量不足,掉压的情况出现。整套系统管网使用镀锌钢管,压力等级1.0Mpa,可防止爆管等情况出现。
3、硅片废水经过深度处理后,可用于厂区的绿化、切磨车间、线切车间回用使用,在通过恒压供水控制系统集中控制后,能够稳定的供应生产车间使用,并且在车间使用末端可进行压力监控,从前端废水的处理到回用至各个区域,水质、水量均能够满足要求。
4、反洗泵5的作用是对多介质过滤器反洗,在保证多介质过滤器的运行效率。