申请日2016.08.09
公开(公告)日2017.01.18
IPC分类号C02F9/06
摘要
本实用新型公开了一种超纯水处理深度除盐系统，属一种超纯水处理系统，包括一级反渗透单元与EDI单元，所述一级反渗透单元与进水管道相连通，所述一级反渗透单元通过第一管道与EDI单元相连通，所述第一管道上还设有进水泵，所述EDI单元还通过第二管道与混床单元相连通，所述混床单元与出水管道相连通。使EDI单元产水的电导率达到15MΩ.cm，混床单元产水的电导率达到18MΩ.cm;并且使系统中混床单元的运行周期有效延长，通常可达到30至60天，而混床的再生需要用酸碱化学药剂，运行周期的延长，意味着能减少再生污染物的排放;并且反渗透技术需要较高的压力，采用EDI单元替换二级反渗透后，减少了电耗，环境效益和社会效益突出。
权利要求书
1.一种超纯水处理深度除盐系统，包括一级反渗透单元(1)与EDI单元(2)，所述一级反渗透单元(1)与进水管道(3)相连通，其特征在于：所述一级反渗透单元(1)通过第一管道(4)与EDI单元(2)相连通，所述第一管道(4)上还设有进水泵(5)，所述EDI单元(2)还通过第二管道(6)与混床单元(7)相连通，所述混床单元(7)与出水管道(8)相连通。
2.根据权利要求1所述的超纯水处理深度除盐系统，其特征在于：所述一级反渗透单元(1)与EDI单元(2)之间的第一管道(4)上设有一级反渗透产水箱(9)，且所述进水泵(5)置于一级反渗透产水箱(9)与EDI单元(2)之间的管道上。
3.根据权利要求1所述的超纯水处理深度除盐系统，其特征在于：所述一级反渗透单元(1)还与反渗透浓水排放管道(10)相连通。
4.根据权利要求1所述的超纯水处理深度除盐系统，其特征在于：所述EDI单元(2)中的淡水室(21)分别与第一管道(4)、第二管道(6)相连通，浓水室(22)分别与第一管道(4)、EDI浓水排放管道(11)相连通。
说明书
超纯水处理深度除盐系统
技术领域
本实用新型涉及一种超纯水处理系统，更具体的说，本实用新型主要涉及一种超纯水处理深度除盐系统。
背景技术
随着国家大力发展半导体芯片行业，芯片制程越来越高，生产过程所需要的超纯水水质要求也相应提高，目前超纯水制备的工艺通常采用双级反渗透加上EDI或混床配合的方式进行(即一级反渗透、二级反渗透和EDI或混床串联运行)，这样的系统制备出的超纯水水质稍差，并且混床运行周期较短，同时双级反渗透的电耗较大，而混床需要定期的再生，会产生大量的酸碱废水;因而有必要针对这类超纯水的制备系统进行研究和改进。
实用新型内容
本实用新型的目的之一在于针对上述不足，提供一种超纯水处理深度除盐系统，以期望解决现有技术中超纯水制备的产水水质稍差，且设备耗能较大，排放酸碱废水过多等技术问题。
为解决上述的技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
本实用新型所提供的一种超纯水处理深度除盐系统，包括一级反渗透单元与EDI单元，所述一级反渗透单元与进水管道相连通，所述一级反渗透单元通过第一管道与EDI单元相连通，所述第一管道上还设有进水泵，所述EDI单元还通过第二管道与混床单元相连通，所述混床单元与出水管道相连通。
作为优选，进一步的技术方案是：所述一级反渗透单元与EDI单元之间的第一管道上设有一级反渗透产水箱，且所述进水泵置于一级反渗透产水箱与EDI单元之间的管道上。
更进一步的技术方案是：所述一级反渗透单元还与反渗透浓水排放管道相连通。
更进一步的技术方案是：所述EDI单元中的淡水室分别与第一管道、第二管道相连通，浓水室分别与第一管道、EDI浓水排放管道相连通。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果之一是：通过将一级反渗透单元、EDI单元与混床单元串联运行，有效提升了系统制备超纯水的水质，使EDI单元产水的电导率达到15MΩ.cm，混床单元产水的电导率达到18MΩ.cm;并且使系统中混床单元的运行周期有效延长，通常可达到30至60天，而混床的再生需要用酸碱化学药剂，运行周期的延长，意味着能减少再生污染物的排放;并且反渗透技术需要较高的压力，采用EDI单元替换二级反渗透后，减少了电耗，环境效益和社会效益突出;同时本实用新型所提供的一种超纯水处理深度除盐系统结构简单，适于在各类场所中安装使用，应用范围广阔。
