申请日2015.07.16
公开(公告)日2015.11.04
IPC分类号B08B3/02; B24D18/00
摘要
一种采用高压水处理抛光布表面的装置，适用于单晶硅抛光片生产中，对抛光布进行表面预处理。本实用新型中的柱塞泵(3)将纯水管路(1)中的纯水施加压力后进入高压供纯水供给装置(4)并经高压纯水管(5)将高压纯水通过喷头(8)喷射到需处理的抛光布上。喷头(8)安装在抛光机主转盘(10)边部的摆臂(7)上，可随抛光机主转盘(10)自抛光机大盘边缘到中心轮附近再回到抛光机主转盘(10)边缘，完成一个摆动周期。刷子(9)与抛光布表面在工作中并不接触，没有相互摩擦，不对抛光布造成损伤。本实用新型提高了抛光布的使用寿命，降低了生产成本，减轻了劳动强度，提高了工作效率。
权利要求书
1.一种采用高压水处理抛光布表面的装置，其特征是：所述的一种采用高压水处理抛光布表面的装置，主要由柱塞泵(3)、高压纯水供给装置(4)、高压纯水管(5)、驱动电机(6)、摆臂(7)、喷头(8)、刷子(9)、构成;其中柱塞泵(3)安装在工厂系统纯水管路(1)上，并与工厂系统的压缩空气管路(2)连接;高压纯水供给装置(4)通过管路与柱塞泵(3)连接在一起;喷头(8)和刷子(9)都装在抛光机主转盘(10)边部摆臂(7)的同一端，喷头(8)安装在刷子(9)的中间位置;驱动电机(6)安装在摆臂(7)的另一端;高压纯水管(5)一端接在高压纯水供给装置(4)上，另一端穿过摆臂(7)与喷头(8)连接。
2.根据权利要求1所述的一种采用高压水处理抛光布表面的装置，其特征是：装在抛光机主转盘(10)边部摆臂(7)上的刷子(9)和喷头(8)可随抛光机主转盘(10)均匀转动。
说明书
一种采用高压水处理抛光布表面的装置
技术领域
本实用新型属于单晶硅片抛光生产技术领域，主要涉及一种采用高压水处理抛光布表面的装置。
背景技术
单晶硅抛光片生产中，无论其工艺采用有蜡还是无蜡，均需要在硅片抛光前，以及前后两次的生产间隙对抛光布进行表面预处理。刷去上次抛光过程中残留在抛光布纤维中的抛光液残留，使抛光布表面蓬松，以便在接下来的抛光过程中能蓄含更多的抛光液，对硅片能有效地产生物理化学作用，从而达到更好的抛光效果,此工艺过程在生产中称为“刷布”。
目前，传统的刷布方式有两种：
1、操作工人用一定硬度的毛刷在抛光机大盘运转时用适当的力量按压在抛光布上,并随着抛光布主转盘的运转由靠近圆心的部分逐渐均匀地向外移动到抛光布的边缘，一般要重复2-3次，来完成刷布的过程。
2、将一个与载体板大小相同的圆盘形刷子放置在主转盘上，在主转盘运行时，降下压头压住刷子，按工艺设定的刷布时间完成刷布，此过程虽可在机械臂参与下完成，但仍需操作者在设备上对相应的按钮进行操作来执行。
这种传统的刷布方式存在问题有：1、第一种因操作工用力大小、每次操作时向外移动的速率均无法控制，造成刷布效果亦无法控制;第二种虽然在压力、速度、时间等参数上可以保障刷布过程的一致性，但刷子与抛光布只有原地旋转，而没有从圆心向外的扫除动作，刷下的抛光液残留、刮下的抛光布碎屑以及刷子磨损碎屑、颗粒不能及时冲走，又可能被旋转的刷子带入到主转盘的中心位置。其后果则是在抛光片生产的产品中表现出来硅片表面会有各种划道、沾污等缺陷。2、传统刷布无论哪一种方法均会使抛光布的非工作磨损增加，寿命降低，成本提高;3、传统刷布方式无论上述哪一种均需人工操作，存在人为因素造成的风险且不利于自动化连续生产，影响生产效率。
实用新型内容
鉴于现有技术中所存在的问题，本实用新型提出并公开了一种采用高压水处理抛光布表面的装置，本装置以压缩空气为动力源的柱塞泵给纯水施加以高压，高压水通过一个小孔径的喷头将高压纯水喷射到需要处理的抛光布 上，利用小水珠所携带的动能将嵌入抛光布纤维中的抛光液残留冲刷出来。所设计的刷子与抛光布表面在工作中并不接触，避免了刷子与抛光布表面机械摩擦造成的非工作磨损以及由于相互摩擦而产生的碎屑颗粒沾污硅片。为实现上述发明目的，本实用新型所采取的具体技术方案是：一种采用高压水处理抛光布表面的装置，主要是由柱塞泵、高压纯水供给装置、高压纯水管、驱动电机、喷头、刷子构成;其中，柱塞泵安装在抛光机工厂系统纯水管路上，并与工厂系统的压缩空气管路连接;高压纯水供给装置通过管路与柱塞泵连接;刷子安装在抛光机主转盘边部的摆臂上的一端，喷头装在刷子的中间并与摆臂连接;摆臂的另一端安装有驱动电机，高压纯水管一端与高压纯水供给装置连接，另一端穿过摆臂内部与喷头连接。所述的一种采用高压水处理抛光布表面的装置，其中安装在抛光机主转盘边部摆臂上的刷子和喷头可随抛光机主转盘均匀转动。
本实用新型所述的一种采用高压水处理抛光布表面的装置，克服了现有技术的不足，实现了抛光布清洗处理过程的自动化，即能满足对抛光布清洗的工艺要求，也避免了抛光布的非工作磨损，提高了抛光布的使用寿命，降低了生产成本，减轻了工人的劳动强度，提高了工作效率。
