公布日：2022.06.24
申请日：2022.03.25
分类号：C02F9/12(2006.01)I;C02F1/48(2006.01)I;C02F103/34(2006.01)N;C02F101/14(2006.01)N
摘要
本申请公开了一种含氟废水回收的方法及系统，涉及半导体加工技术领域，方法包括收集半导体设备加工过程中生成的含氟废水；对所述含氟废水进行化学沉淀处理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合废水；在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水；将所述磁粉沉淀物进行磁粉分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；将所述第一污泥沉淀输送至污泥资源回收系统进行回收使用，并将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水；将所述第二滤水输送至所述半导体设备进行循环使用。系统应用上述方法，本申请实施例能实现含氟废水的零排放以及提升循环使用率，相对于现有技术的采用化学药剂的方式，循环使用率更高。
权利要求书
1.一种含氟废水回收的方法，其特征在于，包括：收集半导体设备加工过程中生成的含氟废水；对所述含氟废水进行化学沉淀处理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合废水；在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水；将所述磁粉沉淀物进行磁粉分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；将所述第一污泥沉淀输送至污泥资源回收系统进行回收使用，并将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水；将所述第二滤水输送至所述半导体设备进行循环使用。
2.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述污水混合物还包括第二污泥沉淀；所述方法还包括：将所述第二污泥沉淀输送至污泥资源回收系统进行回收使用。
3.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水，包括：将所述第一滤水分别进行微过滤以及反渗透过滤，得到第三滤水；将所述第三滤水进行超纯水过滤，得到所述第二滤水。
4.根据权利要求2所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，在进行超纯水过滤之前，所述方法还包括：将一部分的所述第三滤水回流以用于稀释收集的所述含氟废水。
5.根据权利要求3所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，在进行超纯水过滤之前，所述方法还包括：将除回流以外的所述第三滤水进行杀菌处理。
6.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据预设的回流条件，将部分所述第二滤水回流以用于稀释收集的所述含氟废水。
7.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水，包括：根据所述混合废水的容量、氟化钙的浓度，获取待加入磁粉的剂量；将确定剂量的所述磁粉加入到所述混合废水中进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水。
8.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述将所述磁粉沉淀物进行磁粉分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉，包括：通过回流泵将所述磁粉沉淀物输送至磁粉分离装置；通过所述磁粉分离装置将所述磁粉沉淀物分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉。
9.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述对所述含氟废水进行化学沉淀处理，得到污水混合物，包括：获取所述含氟废水的PH值；根据所述PH值，对所述含氟废水进行中和处理；向中和处理后的所述含氟废水中加入氯化钙，得到污水混合物。
10.一种含氟废水回收的系统，其特征在于，应用于权利要求1至9任一所述的含氟废水回收的方法，所述含氟废水回收的系统包括：收集池，所述收集池用于收集半导体设备加工过程中生成的含氟废水；反应池，所述反应池用于对所述含氟废水进行化学沉淀处理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合废水；沉淀池，所述沉淀池用于在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水；磁粉分离装置，所述磁粉分离装置用于将所述磁粉沉淀物进行磁粉分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；过滤系统，所述过滤系统用于将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水；并将所述第二滤水输送至所述半导体设备以进行循环使用；污泥资源回收系统，所述污泥资源回收系统用于将所述第一污泥沉淀进行回收使用。
发明内容
本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，提出一种含氟废水回收的方法及系统，能提升含氟废水的循环使用率。
第一方面，根据本申请实施例的一种含氟废水回收的方法，所述含氟废水回收的方法包括：
收集半导体设备加工过程中生成的含氟废水；
对所述含氟废水进行化学沉淀处理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合废水；
在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水；
将所述磁粉沉淀物进行磁粉分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；
将所述第一污泥沉淀输送至污泥资源回收系统进行回收使用，并将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水；
将所述第二滤水输送至所述半导体设备进行循环使用。
第二方面，根据本申请实施例提出的一种含氟废水回收的系统，应用第一方面任一所述的含氟废水回收的方法，所述含氟废水回收的系统包括：
收集池，所述收集池用于收集半导体设备加工过程中生成的含氟废水；
反应池，所述反应池用于对所述含氟废水进行化学沉淀处理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合废水；
沉淀池，所述沉淀池用于在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水；
磁粉分离装置，所述磁粉分离装置用于将所述磁粉沉淀物进行磁粉分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；
过滤系统，所述过滤系统用于将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水；并将所述第二滤水输送至所述半导体设备以进行循环使用；
污泥资源回收系统，所述污泥资源回收系统用于将所述第一污泥沉淀进行回收使用。
根据本申请的上述实施例，至少具有如下有益效果：通过磁粉对中和后得到的混合废水进行物理絮凝，并对絮凝后的磁粉沉淀物进行分离，以进行磁粉的重复使用和第一污泥沉淀循环回收使用，并将絮凝后的第一滤水进行纯水过滤并循环使用，实现含氟废水的零排放以及提升循环使用率，相对于现有技术的采用化学药剂的方式，循环使用率更高。
（发明人：邓海;孟兵华;刘小红;肖应东）
