申请日2013.09.16
公开(公告)日2014.10.29
IPC分类号B01D53/78; B01D53/70; B01D53/96
摘要
本实用新型公开了多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，包括：一缓冲罐，用于缓存多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气，一淋洗塔，与缓冲罐连接，所述淋洗塔内喷淋碱液，一污泥池，存储安全循环池排出的淋洗废碱水，所述污泥池内设置一搅拌装置，不断搅拌污泥池，一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池，将污泥池内的物质打入压滤机进行至少一次压滤，一一次压滤机，所述一次压滤机连接第一泵体，压滤出来的滤渣外运，上清液放置中间水池内，一加酸造渣装置，所述加酸造渣装置连接中间水池，同时通过管道连接一盐酸注入装置。经盐酸注入装置注入盐酸，将加酸造渣装置中的废水PH调节至6—9，再次进行第二次压滤，最终将产生的滤渣外运和将上清液外排。本实用新型占地面积小，处理污水能力强，处理程度高，经处理后可将淋洗废碱水达标排放，做到对环境完全无害，同时还较好的利用了生产过程产生的废酸，节约了生产成本。
权利要求书
1.多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，其特征在于，包括：
一缓冲罐，用于装入多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气，
一与缓冲罐连接的淋洗塔，所述淋洗塔内喷淋碱液，
一污泥池，吸收淋洗塔落下的淋洗液，所述污泥池内设置一搅拌装置，不断搅拌污泥池，
还包括一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，其特征在于：所述污泥池连接中间水池，所述中间水池通过管道连接一盐酸注入装置。
3.根据权利要求1所述的多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，其特征在于：所述淋洗塔和污泥池之间还设置一安全循环池，安全循环池内的淋洗液通过一回流管道连接淋洗塔。
说明书
多晶硅生产废气淋洗废水处理装置
技术领域
本实用新型涉及多晶硅制造技术领域，具体涉及多晶硅生产废气淋洗废水 处理装置。
背景技术
多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等产品的关键基础材料，是发展 信息产业和光伏新能源产业的重要基石，但多晶硅在生产过程中不可避免的要 产生废气、废水排放，而由此产生严重的环境污染问题，这已成为多晶硅产业 能否生存与健康发展的关键之一。
废气处理项目分别有干法燃烧线和湿法淋洗线两套系统，其中湿法淋洗系 统是全国多晶硅行业普遍采用的废气处理方法，具有投资小、运行成本低、操 作简单等优点。
湿法淋洗系统采用NaOH溶液来淋洗多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气， 初始碱浓度控制在15～22%，随着氯硅烷的不断水解、中和反应、碱随之消耗 浓度下降。当NaOH浓度降到4～5%时，池内会产生大量白色沉渣，导致废气淋 洗无法继续进行，必须更换新的淋洗液。此时更换的废淋洗液具有较高的碱性 及大量的硅酸盐，如压滤后直接排放，会产生大量白色沉渣，可能导致严重的 环境污染事故。因此，废气处理湿法线产生的废淋洗液，需要进一步处理才能 达标排放。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供多晶硅生产废气淋洗废水处理装置， 占地面积小，处理污水能力强，处理程度高，经处理后可将淋洗废碱水达标排 放，做到对环境完全无害，同时还较好的利用了生产过程产生的酸性废水，节 约了生产成本。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：
多晶硅生产废气淋洗废水处理装置，包括：
一缓冲罐，用于缓存多晶硅生产中排放的含氯硅烷废气，
一淋洗塔，与缓冲罐连接，所述淋洗塔内喷淋碱液，
一污泥池，存储安全循环池排出的淋洗废碱水，所述污泥池内设置一搅拌 装置，不断搅拌污泥池，
一第一泵体，所述第一泵体连接污泥池，将污泥池内的物质打入压滤机进 行一次压滤，
一一次压滤机，所述一次压滤机连接第一泵体，压滤出来的滤渣外运，上 清液放置中间水池内。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述淋洗塔和污泥池之间还设置一安 全循环池，安全循环池内的淋洗液通过一回流管道连接淋洗塔循环使用。
在本实用新型的一个优选实施例中，淋洗塔内喷淋碱液质量分数为5～ 22%。
在本实用新型的一个优选实施例中，还包括一加酸造渣装置，所述加酸造 渣装置通过管道连接一盐酸注入装置，经盐酸注入装置注入盐酸，将加酸造渣 装置中的废水PH调节至6—9，再进行第二次压滤，，最终将产生的滤渣外运和 将上清液外排。
通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
本实用新型中的盐酸可以利用废气处理干法线产生的废酸中和废碱液，达 到以废制废的效果;压滤的滤渣(硅酸盐)呈中性，可以做水泥、铺路的原材 料;压滤的上清液为高盐溶液，纯度高，可用来电解氢气、氯气、液碱;
具有结构简单，使用方便的特点，节约了生产成本。
