申请日2007.08.13
公开(公告)日2009.02.18
IPC分类号B08B3/02; B08B3/08; C02F1/00; C11D7/08; C11D7/06; B08B13/00
摘要
一种清洗装置，适用于清洗检测器的检测电极。清洗装置包括支撑单元、清洗单元与升降单元。支撑单元支撑检测电极，使检测电极置于支撑单元内部。清洗单元具有设置于支撑单元中的多个喷洒构件。升降单元连接检测电极，其中升降单元升起导线与检测电极之后，从喷洒构件喷出清洗液以清洗检测电极。
权利要求书
1.一种清洗装置，适用于清洗检测器的检测电极，包括：
支撑单元，支撑该检测电极，使该检测电极置于该支撑单元内部;
清洗单元，包括多个喷洒构件，所述喷洒构件设置于该支撑单元中;以 及
升降单元，连接该检测电极，其中该升降单元升起该检测电极之后，从 所述喷洒构件喷出清洗液以清洗该检测电极。
2.如权利要求1所述的清洗装置，其中该清洗单元还包括：
清洗液储存槽，连接所述喷洒构件，用以供给清洗液至所述喷洒构件。
3.如权利要求2所述的清洗装置，其中该清洗单元还包括空气管路，连 接该清洗液储存槽，用以对该清洗液施加压力。
4.如权利要求1所述的清洗装置，其中各所述喷洒构件包括管状体，其 中各所述管状体上具有多个喷嘴，经由所述喷嘴将该清洗液喷洒至该检测电 极表面。
5.如权利要求1所述的清洗装置，其中所述喷洒构件配置成环绕该检测 电极。
6.如权利要求1所述的清洗装置，其中该清洗液包括盐酸或氢氧化钠。
7.如权利要求8所述的清洗装置，其中盐酸的浓度包括5%。
8.如权利要求8所述的清洗装置，其中氢氧化钠的浓度包括1%。
9.如权利要求1所述的清洗装置，其中该升降单元包括：
固定部，设置于该支撑单元上方，用以固定该检测电极;以及
气压式升降杆，连接该固定部，通过升降该固定部，而升降该检测电极。
10.如权利要求9所述的清洗装置，其中该气压式升降杆还包括气压缸。
11.如权利要求1所述的清洗装置，其中该检测器包括酸碱度检测器、 电导度检测器、溶氧度检测器或浊度检测器。
12.如权利要求1所述的清洗装置，其中该支撑单元包括侧壁具有孔洞 的管状体或纵剖管状体。
13.一种废水处理设备，包括：
反应槽;
搅拌器，配置于该反应槽中;
检测器，包括检测电极，用以探测该反应槽中的废水的水质;以及
清洗装置，用以清洗该检测电极，该清洗装置包括：
支撑单元，配置于该反应槽中，以支撑该检测电极;
清洗单元，包括多个喷洒构件，所述喷洒构件设置于该支撑单元中;
以及
升降单元，连接该检测电极，其中该升降单元升起该检测电极之后，
从所述喷洒构件喷出清洗液以清洗该检测电极。
14.如权利要求13所述的废水处理设备，其中该清洗单元包括：
清洗液储存槽，连接所述喷洒构件，用以供给清洗液至所述喷洒构件。
15.如权利要求13所述的废水处理设备，其中各所述喷洒构件包括管状 体，其中各所述管状体上具有多个喷嘴，经由所述喷嘴将该清洗液喷洒至该 检测电极表面。
16.如权利要求13所述的废水处理设备，其中所述喷洒构件配置成环绕 该检测电极。
17.如权利要求13所述的废水处理设备，其中该清洗液包括盐酸或氢氧 化钠。
18.如权利要求13所述的废水处理设备，其中该清洗单元还包括空气管 路，连接该清洗液储存槽，用以对该清洗液施加压力。
19.如权利要求13所述的清洗装置，其中该升降单元包括：
固定部，设置于该支撑单元上方，用以固定该检测电极;以及
气压式升降杆，连接该固定部，通过升降该固定部，而升降该检测电极。
20.如权利要求13所述的清洗装置，其中该气压式升降杆还包括气压 缸。
21.如权利要求13所述的清洗装置，其中该检测器包括酸碱度检测器、 电导度检测器、溶氧度检测器或浊度检测器。
22.如权利要求13所述的废水处理设备，其中该搅拌器包括推进器式搅 拌器、桨式搅拌器或轮机式搅拌器。
说明书
清洗装置与废水处理设备
技术领域
本发明涉及一种清洗装置，且特别是涉及一种适用于废水处理设备的检 测器的清洗装置。
背景技术
在半导体元件的制造过程中，常会使用各式各样的酸碱溶液，因而衍生 出废水的处理问题。为了使流放的废水能够符合政府所制定的排放标准，业 界无不用心钻研相关的处理程序，期望使排放废水对环境的不良影响降至最 低。
一般而言，半导体制造业所产出的废水包括酸碱废水、氰化物废水、研 磨废水、含氟废水与重金属废水等。依据废水中所含污染物的性质(例如物 理性、化学性或浓度等)，不同种类的废水有其各自的处理作法。
举例来说，酸碱废水仅需先调匀水质与水量之后，再调整其中的酸碱(PH) 值就可放流。氰化物废水大都是以氧化反应技术来处理，例如是利用氯(Cl2)、 次氯酸根(OCl-)或臭氧(O3)等反应物来与氰化物废水进行多阶段的化学反应 而生成无毒的生成物。含氟废水中的氟离子是利用化学混凝法(chemical coagulation)来移除，亦即，在含氟废水中加入钙盐，通过氟离子与钙离子反 应而生成氟化钙(CaF2)沉淀物。重金属废水的处理通常是采用重金属化学混 凝法，先在重金属废水中加入碱剂，调整其酸碱值之后，再添加助凝剂使其 成为粗大胶羽(floc)，而后利用沉降分离的方式去除。
值得一提的是，废水处理的效能与废水水质有着密不可分的关系。以含 氟废水的处理与废水酸碱值的关系为例，若是酸碱值控制不得当，这不仅会 使得投入含氟废水中的化学药剂利用率未臻理想、化学反应不够完全、混凝 胶羽不易形成或者沉降效果不佳，严重的话还可能无法达到预期的处理标 准。因此，废水处理设备中通常会装设多种水质检测器，例如是酸碱度检测 器、电导度(electrical conductivity)检测器、溶氧度(dissolved oxygen)检测器或 浊度(turbidity)检测器，以确切掌握废水的水质变化状况。
只不过，废水中的固态悬浮物容易附着在检测器的检测电极表面，这会 造成检测器的灵敏度下降而无法获取正确的数据，若是结垢状况严重的话， 甚至会使得检测器完全失灵。
目前常见的维持检测电极表面清洁的作法，是以人工手动的方式先将反 应槽中的检测电极一一拆卸下来。接着，将检测电极置于盐酸溶液中一段时 间，以其强效的溶解能力将检测电极表面的结垢物溶解。然后，再把检测电 极放回反应槽中。显而易见地，上述的检测电极的清洗步骤，不仅耗时，更 需要大量的人力配置。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种清洗装置，此清洗装置可以有效清除检测电 极上的附着物，使得检测电极的使用年限延长，并且可以取代现有以人力清 洗检测电极的费时繁复步骤。
本发明提供一种废水处理设备，此设备可以避免检测电极受到胶羽附着 而失灵，并能延长检测电极的使用寿命，进而能够具备较佳的废水处理效能。
本发明提供一种清洗装置，适用于清洗检测器的检测电极，包括支撑单 元、清洗单元与升降单元。支撑单元支撑检测电极，使检测电极置于支撑单 元内部。清洗单元具有多个喷洒构件。喷洒构件设置于支撑单元中。升降单 元连接检测电极，其中升降单元升起检测电极之后，从喷洒构件喷出清洗液 以清洗检测电极。
在本发明的实施例中，上述的清洗单元包括清洗液储存槽。清洗液储存 槽连接喷洒构件，用以供给清洗液至喷洒构件。
在本发明的实施例中，上述的清洗单元还包括空气管路。此空气管路连 接清洗液储存槽，用以对清洗液施加压力。
在本发明的实施例中，上述的喷洒构件包括多条管状体，其中每一条管 状体上具有多个喷嘴，经由喷嘴将清洗液喷洒至检测电极表面。
在本发明的实施例中，上述的喷洒构件配置成环绕检测电极。
在本发明的实施例中，上述的清洗液例如是盐酸(HCl)或氢氧化钠 (NaOH)。
在本发明的实施例中，上述的盐酸的浓度例如是5%。
在本发明的实施例中，上述的氢氧化钠的浓度例如是1%。
在本发明的实施例中，上述的升降单元包括固定部与气压式升降杆 (pneumatic elevating rod)。固定部置于支撑单元上方，用以固定检测电极。 气压式升降杆连接固定部，通过升降固定部，而升降检测电极。
在本发明的实施例中，上述的气压式升降杆还包括气压缸(air cylinder)。
在本发明的实施例中，上述的检测器例如是酸碱度检测器、电导度检测 器、溶氧度检测器或浊度检测器。
在本发明的实施例中，上述支撑单元包括侧壁具有孔洞的管状体或纵剖 管状体。
本发明的清洗装置，是先以升降单元将检测器的检测电极自废水内升起 后，再以喷洒构件喷洒具有强效洁净效果的清洗液至检测电极表面，而可以 临场清洁检测电极。因此避免了检测电极受到结垢物干扰，而能够保持检测 电极的灵敏度，并延长检测电极的使用寿命。
此外，本发明的清洗装置可以取代现有人工手动的清理方式，因此能够 大幅降低人力与时间成本。
本发明又提供一种废水处理设备，包括反应槽、搅拌器、检测器、清洗 装置。搅拌器配置于反应槽中。检测器具有检测电极，用以探测反应槽中的 废水的水质。清洗装置用以清洗检测电极。清洗装置具有支撑单元、清洗单 元、升降单元。支撑单元配置于反应槽中，以支撑检测电极。清洗单元具有 多个喷洒构件。喷洒构件设置于支撑单元中。升降单元连接检测电极。升降 单元升起检测电极之后，从喷洒构件喷出清洗液以清洗检测电极。
在本发明的实施例中，上述的清洗单元包括清洗液储存槽。清洗液储存 槽连接喷洒构件，用以供给清洗液至喷洒构件。
在本发明的实施例中，上述的喷洒构件包括多条管状体，其中每一条管 状体上具有多个喷嘴，经由喷嘴将清洗液喷洒至检测电极表面。
在本发明的实施例中，上述的清洗液例如是盐酸或氢氧化钠。
在本发明的实施例中，上述的清洗单元还包括空气管路。空气管路连接 清洗液储存槽，用以对清洗液施加压力。
在本发明的实施例中，上述的升降单元包括固定部与气压式升降杆。固 定部置于支撑单元上方，用以固定检测电极。气压式升降杆连接固定部，通 过升降固定部，而升降该检测电极。
在本发明的实施例中，上述的气压式升降杆还包括气压缸。
在本发明的实施例中，上述的检测器例如是酸碱度检测器、电导度检测 器、溶氧度检测器或浊度检测器。
在本发明的实施例中，上述的搅拌器例如是推进器式搅拌器(propeller type agitator)、桨式搅拌器(paddle type agitator)或轮机式搅拌器(turbine type agitator)。
本发明的废水处理设备，先是利用清洗装置的升降单元举起检测电极之 后，再以清洗装置的喷洒构件喷洒清洗液至检测电极表面。由于清洗液具有 高度的溶解去污能力，因此，废水处理设备能够改善检测电极表面的结垢问 题、避免检测器受到废水中的胶羽干扰而失灵，进而具有较佳的废水处理效 能。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并 结合附图，作详细说明如下。
