申请日 20190604
公开（公告）日 20201204
IPC分类号 C02F9/14; C02F103/34
摘要
本发明公开了一种用于半导体工业废水一体化处理系统，包括废水收集池，MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元，所述废水收集池通过管道依次与MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元连接，储水池，各部分通过管道连接，构成了一体化处理系统，处理的半导体废水主要是有机废水，其净化后的水主要用于厂区内冷却塔、废气洗涤塔和绿化用水，此一体化处理系统不仅能够节约大量水资源，而且降低环境污染，解决半导体工业废水循环再利用问题，实现废水资源化。
权利要求书
1.一种用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：
包括废水收集池，MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元，所述废水收集池通过管道依次与MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元连接，储水池；
所述MBR膜处理单元包括pH调节池、厌氧池、缺氧池、好氧池、MBR一体化装置，MBR产水池，所述pH调节池、厌氧池、缺氧池、好氧池、MBR一体化装置，MBR产水池依次通过管道连接，所述MBR一体化装置设有MBR膜组件、生物反应器、鼓风机，所述MBR膜组件设置在生物反应器内部；
所述活性炭过滤单元包括活性炭过滤器，所述活性炭过滤器为内装填粗石英砂垫层及活性炭的压力容器，
所述MF处理单元包括滤芯，所述滤芯包括微滤膜、内外导流层、滤芯端盖、壳体及中心杆。
2.如权利要求1所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MBR一体化装置包括活性污泥系统、所述活性污泥系统设置在MBR膜组件之前，所述废水经过好氧池通过管道进入活性污泥系统。
3.如权利要求2所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MBR储水池与MBR产水池之间设有抽吸泵。
4.如权利要求3所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MBR膜组件孔径为0.01μm-0.03μm。
5.如权利要求4所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MBR膜处理单元还包括污泥回流系统和反洗泵，所述污泥回流系统设置在MBR一体化装置内，所述反洗泵设置在污泥回流系统内。
6.如权利要求1所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述活性炭过滤器的外壳为不锈钢或者玻璃钢。
7.如权利要求1所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MF处理单元的微滤膜为有机高分子膜。
说明书
一种用于半导体工业废水一体化处理系统
技术领域
本发明属于工业再生水处理领域，尤其涉及一种用于半导体工业废水一体化处理系统。
背景技术
半导体行业是一个高能耗行业，在半导体生产制造过程中，会产生大量工业废水。随着水和其他资源日渐短缺以及环境污染治理日益迫切的情况下，工业废水的发展趋势是：把水和污染物作为有用资源回收利用和实行闭路循环。膜分离技术可以完美的达到以上标准，随着水处理技术的发展，该工艺开始逐渐在水处理的环节中得到应用。
在污水处理，水资源再利用领域，MBR又称膜生物反应器(Membrane Bio-Reactor)，是一种由活性污泥法与膜分离技术相结合的新型水处理技术。
在申请号为：CN201820915919.7，申请日为:20180613名称为：一种对流式MBR废水处理设备的专利中，公开了一种对流式MBR废水处理设备，包括MBR池、MBR膜片和风机，所述MBR池的内部下侧连接有第一连接块，且第一连接块的上方卡合连接有MBR膜连接块，所述MBR池的右下侧设置有第四阀门，且第四阀门通过双通水管与MBR池相连接，所述风机通过双通水管与MBR膜连接块相连接，且风机的左侧设置有第一阀门，并且第一阀门位于MBR池的右侧，所述MBR膜片的上下两侧均设置与MBR膜连接块。该对流式MBR废水处理设备。
在申请号为：CN201620520752.5，申请日为：20160601名称为：一种水处理设备的专利中公开了一种水处理设备，所述水处理设备至少包括网格滤池、高级氧化单元、生物活性炭吸附池以及MF过滤单元，所述第一臭氧接触池与所述生物活性炭吸附池并列通过滤后水箱连接至预网格滤池，所述第二臭氧接触池单元双向连接所述生物活性炭吸附池；所述生物活性炭吸附池连接MF过滤单元，所述MF过滤单元连接MF产水箱；所述网格滤池分别连接进水提升泵、PFS/PFM加药装置、废水收集箱、废水提升泵、滤后水箱、滤后水提升泵以及反洗泵；所述高级氧化单元包括第一臭氧接触池和第二臭氧接触池。本发明在节能降耗保护环境方面具有重大意义。
发明内容
本发明所解决的技术问题在于提供一种用于半导体工业废水一体化处理系统。
本发明的的目的可以通过以下技术方案来实现：
一种用于半导体工业废水一体化处理系统，包括废水收集池，MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元，所述废水收集池通过管道依次与MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元连接，储水池；
所述MBR膜处理单元包括pH调节池、厌氧池、缺氧池、好氧池、MBR一体化装置，MBR产水池，所述pH调节池、厌氧池、缺氧池、好氧池、MBR一体化装置，MBR产水池依次通过管道连接，所述MBR一体化装置设有MBR膜组件、生物反应器、鼓风机，所述MBR膜组件设置在生物反应器内部；
所述活性炭过滤单元包括活性炭过滤器，所述活性炭过滤器为内装填粗石英砂垫层及活性炭的压力容器，
所述MF处理单元包括滤芯，所述滤芯包括微滤膜、内外导流层、滤芯端盖、壳体及中心杆。
优选的，所述MBR一体化装置包括活性污泥系统、所述活性污泥系统设置在MBR膜组件之前，所述废水经过好氧池通过管道进入活性污泥系统。
更优选的，所述MBR储水池与MBR产水池之间设有抽吸泵。
更优选的，所述MBR膜组件孔径为0.01μm-0.03μm。
更优选的，所述MBR膜处理单元还包括污泥回流系统和反洗泵，所述污泥回流系统设置在MBR一体化装置内，所述反洗泵设置在污泥回流系统内。
优选的，所述活性炭过滤器的外壳为不锈钢或者玻璃钢。
优选的，所述MF处理单元的微滤膜为有机高分子膜。
本发明的有益效果：
此系统废水收集池，MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元的设置使得此系统不仅能够有效的去除半导体工业废水的污染物质，而且能够实现废水循环再利用，不仅能够节约大量水资源，而且降低环境污染。
发明人 （林超）
