申请日2014.09.05
公开(公告)日2015.01.07
IPC分类号B08B3/04; B08B3/12; H01L21/67; B08B13/00; B08B3/14
摘要
本实用新型公开了一种硅片清洗废水回收再利用系统，包括回收装置、预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网，所述回收装置通过管道分别与预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网连接;所述回收装置包括用于向储水罐抽送硅片清洗后废水的抽水泵、储水罐和分配水泵，所述抽水泵、储水罐和分配水泵通过管道依次连接。本实用新型将清洗硅片后的废水重新收集后用于其他清洗环节，节约了用水的同时，也减少了其他清洗环节前水加温的成本，不仅提高了设备工作效率，也降低了电能的消耗，为车间降低了生产成本。
权利要求书
1.一种硅片清洗废水回收再利用系统，其特征在于，包括回 收装置(1)、预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过 滤网(5)，所述回收装置(1)通过管道分别与预清洗机(2)、化 胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网连接(5);所述回收装置(1) 包括用于向储水罐(102)抽送硅片清洗后废水的抽水泵(101)、储 水罐(102)和分配水泵(103)，所述抽水泵(101)、储水罐(102) 和分配水泵(103)通过管道依次连接。
2.如权利要求1所述的硅片清洗废水回收再利用系统，其特 征在于，所述回收装置(1)还包括过滤器(104)，所述过滤器(104) 设置在抽水泵(101)前端的管道上。
3.如权利要求1所述的硅片清洗废水回收再利用系统，其特 征在于，所述回收装置(1)还包括液位传感器(105)，所述液位传 感器(105)设置在储水罐(102)上部。
4.如权利要求3所述的硅片清洗废水回收再利用系统，其特 征在于，所述回收装置(1)还包括时间继电器(106)，所述时间继 电器(106)与液位传感器(105)串联。
5.如权利要求1-4任一项所述的硅片清洗废水回收再利用系 统，其特征在于，所述预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4) 和过滤网(5)上分别设置有控制分配水泵(103)开闭的传感器。
说明书
一种硅片清洗废水回收再利用系统
技术领域
本实用涉及一种废水回收再利用系统，特别是，涉及一种硅片清 洗废水回收再利用系统。
背景技术
硅片清洗机水浪费是很严重的，每台清洗机单耗水量为3m3/h, 每台清洗机每天排放的废水约为72吨。硅片车间需要用水较多的项 目大致分为三类：清洗硅片、清洗硅块、清洗设备及工装。其中清洗 硅片为最后一道工序，需要的水洁净度较高，清洗硅块要求使用水的 洁净度较低，清洗设备及工装主要包括过滤网的冲洗、超声波水槽、 化胶槽以及预清洗设备，对水质要求不高。而且，清洗硅片后废水温 度在30℃左右，正符合生产中其他清洗环节对水温的要求，直接排 放造成水资源的浪费。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种硅片 清洗废水回收再利用系统，将清洗硅片后的废水重新收集后用于其他 清洗环节，节约了用水的同时，也减少了其他清洗环节前水加温的成 本，不仅提高了设备工作效率，也降低了电能的消耗，为车间降低了 生产成本。
为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下：
一种硅片清洗废水回收再利用系统，包括回收装置、预清洗机、 化胶槽、超声波水槽和过滤网，所述回收装置通过管道分别与预清洗 机、化胶槽、超声波水槽和过滤网连接;所述回收装置包括用于向储 水罐抽送硅片清洗后废水的抽水泵、储水罐和分配水泵，所述抽水泵、 储水罐和分配水泵通过管道依次连接。
优选的，所述回收装置还包括过滤器，所述过滤器设置在抽水泵 前端的管道上。
优选的，所述回收装置还包括液位传感器，所述液位传感器设置 在储水罐上部。
优选的，所述回收装置还包括时间继电器，所述时间继电器与液 位传感器串联。
优选的，所述预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网上分别设 置有控制分配水泵开闭的传感器。
相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：
1、本实用新型将清洗硅片后的废水重新收集后用于其他清洗 环节，节约了用水的同时，也减少了其他清洗环节前水加温的成本， 不仅提高了设备工作效率，也降低了电能的消耗，为车间降低了生产 成本;
2、本实用新型回收废水的同时对废水进行过滤，减少了废水 中杂质对后续工序的影响，保证了后续工序的正常进行;
3、本实用新型将液位传感器和时间继电器串联，有效保证储 水罐内水位的同时，减少了注水时水位波动对液位传感器的影响，使 得废水回收装置更稳定;
4、本实用新型通过传感器控制分配水泵的开闭，实现了废水 利用的自动化，大大提高了工作效率。
