申请日2007.03.26
公开(公告)日2008.10.01
IPC分类号C02F9/08; C02F1/44; C02F1/32
摘要
一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的另一端连接于旁流阀的出水口。
权利要求书
1. 一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括：
旁流管路，该旁流管路的一端连接于该水处理单元的进水口，该旁流管 路的另一端连接于该水处理单元的出水口;
旁流阀，配置于该旁流管路上;和
短流管路，该短流管路的一端连接于该旁流阀的进水口，该短流管路的 另一端连接于该旁流阀的出水口。
2. 如权利要求1所述的防死水处理装置，其中该旁流阀内设置有挡板， 该挡板具有限流孔洞。
3. 如权利要求2所述的防死水处理装置，其中该挡板的形状包括板状。
4. 如权利要求2所述的防死水处理装置，其中该挡板限制超纯水往一方 向流动。
5. 如权利要求2所述的防死水处理装置，其中流经该限流孔洞的超纯水 具有流速，且该流速为2m/s。
6. 如权利要求1所述的防死水处理装置，其中该水处理单元包括紫外光 杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
7. 如权利要求1所述的防死水处理装置，其中该短流管路包括玻璃管、 塑胶硬管或塑胶软管。
8. 一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括：
旁流管路，该旁流管路的一端连接于该水处理单元的进水口，该旁流管 路的另一端连接于该水处理单元的出水口;和
旁流阀，配置于该旁流管路上，其中该旁流阀内设置有挡板，该挡板具 有限流孔洞。
9. 如权利要求8所述的防死水处理装置，其中该挡板的形状包括板状。
10. 如权利要求8所述的防死水处理装置，其中该挡板限制超纯水往一方 向流动。
11. 如权利要求8所述的防死水处理装置，其中流经该限流孔洞的超纯水 具有流速，且该流速为2m/s。
12. 如权利要求8所述的防死水处理装置，其中该水处理单元包括紫外光 杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
13. 一种超纯水制造系统，包括：
多个泵，该些泵提供动力以使超纯水流动;
多个水处理单元;
多条管路，该些管路连接该些泵与该些水处理单元;和
多个防死水处理装置，配置于该些水处理单元上，其中，每一该些防死 水处理装置还包括：
旁流管路，该旁流管路的一端连接于每一该些水处理单元的进水口，该 旁流管路的另一端连接于每一该些水处理单元的出水口;
旁流阀，配置于该旁流管路上;和
短流管路，该短流管路的一端连接于该旁流阀的进水口，该短流管路的 另一端连接于该旁流阀的出水口。
14. 如权利要求13所述的超纯水制造系统，其中该旁流阀内设置有挡板， 该挡板具有限流孔洞。
15. 如权利要求14所述的超纯水制造系统，其中该挡板的形状包括板状。
16. 如权利要求14所述的超纯水制造系统，其中该挡板限制超纯水往一 方向流动。
17. 如权利要求14所述的超纯水制造系统，其中流经该限流孔洞的超纯 水具有流速，且该流速为2m/s。
18. 如权利要求13所述的超纯水制造系统，其中该些水处理单元包括紫 外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
19. 如权利要求14所述的超纯水制造系统，其中该短流管路包括玻璃管、 塑胶硬管或塑胶软管。
说明书
防死水处理装置与超纯水制造系统
技术领域
本发明涉及一种水处理装置，且特别是涉及一种防死水处理装置。
背景技术
近年来，由于半导体技术不断地蓬勃发展，使得高科技产品得以大步跃 进。而在人们追求产品具有轻薄短小等优点的需求之下，各类产品的元件也 趋于微型化。如此一来，在半导体类产品中，便必须增加微小元件的集成度。 然而，随着元件复杂度与集成度的升高，晶片表面的微小缺陷(minute defects) 和微量杂质(trace impurities)将会严重地影响元件的性能。晶片表面的微小缺 陷和微量杂质不但会劣化元件的特性和可靠度，甚者还会降低晶片的成品 率。因此，在半导体工艺中，用以清洗晶片以移除附着于晶片表面上无用物 质的洗净工艺便显得相当重要。
超洁净技术(ultraclean technology)是一种利用超纯水以洗净晶片的技 术。若使用原水(raw water)清洗晶片，由于原水内含有各类形式的杂质，杂 质容易沉淀于晶片表面上反而造成晶片元件的劣化，因此，使用于晶片洗净 步骤的水，需先经过净化而成为超纯水。
目前常用的超纯水制造系统包括前处理系统(pretreatment system)、主处 理系统(primary treatment system)、超纯水系统(ultrapure water system)和管路 系统(piping system)。其中前处理系统用以过滤颗粒较大的杂质，主处理系统 用以移除微粒子并且进行杀菌，而超纯水系统用以提高从主处理系统中送出 的水质，并通过泵的动力，使超纯水在管路中持续地循环，以改善并确保超 纯水在系统用水端(point of use，POU)的品质。管路系统则用来连接上述各系 统，使得超纯水持续在超纯水制造系统中流动循环，以维持超纯水的纯度与 品质。
发明内容
因此，本发明提供一种防死水处理装置，此装置可以使超纯水处于活水 状态，以维持超纯水的品质。
本发明提供一种超纯水制造系统，此系统可以使超纯水保持流动状态， 以维持超纯水的纯度。
本发明提出一种防死水处理装置，其配置于水处理单元上，包括旁流管 路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流 管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流 管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的另一端连接于旁流阀的出水 口。
在本发明的实施例中，上述的旁流阀内设置有挡板，挡板具有限流孔洞。
在本发明的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。
在本发明的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。
在本发明的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。
在本发明的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置 (ultraviolet sterilizer，UV)、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元 (ultrafiltration，UF)或脱气膜单元。
在本发明的实施例中，上述的短流管路包括玻璃管、塑胶硬管或塑胶软 管。
本发明提供一种超纯水制造系统，此系统可以使超纯水保持流动状态， 以维持超纯水的纯度。
本发明提出一种防死水处理装置，其配置于水处理单元上，包括旁流管 路和旁流阀。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一 端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上，旁流阀内设置有 挡板，挡板具有限流孔洞。
在本发明的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。
在本发明的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。
在本发明的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。
在本发明的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装 置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
本发明又提出一种超纯水制造系统，超纯水制造系统包括多个泵、多个 水处理单元、多条管路和多个防死水处理装置。泵提供动力以使超纯水流动。 管路连接泵与水处理单元。防死水处理装置配置于水处理单元上，其中，防 死水处理装置还包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于 水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流 阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的 另一端连接于旁流阀的出水口。
在本发明的实施例中，上述的旁流阀内设置有挡板，挡板具有限流孔洞。
在本发明的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。
在本发明的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。
在本发明的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。
在本发明的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装 置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
在本发明的实施例中，上述的短流管路包括玻璃管、塑胶硬管或塑胶软 管。
由于本发明的防死水处理装置可以使得超纯水一直保持在流动的状态， 因此，超纯水的水质不易劣化而能维持其纯度。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并 结合附图，作详细说明如下。
