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全自动硅片清洗机废水处理方法

发布时间:2019-4-8 14:14:52  中国污水处理工程网

  申请日2018.11.23

  公开(公告)日2019.01.25

  IPC分类号B08B3/14; H01L21/67

  摘要

  本发明公开了一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,涉及废水处理技术领域,该全自动硅片清洗机的废水处理装置,包括处理箱,所述处理箱的两侧内壁上端均固定连接有固定板,两个所述固定板的上方均设置有缓冲板,所述缓冲板的下表面一端固定连接斜块的上表面,所述斜块的下表面固定连接第一竖杆的一端,所述第一竖杆的上端外侧套接有压板,所述第一竖杆的外侧套接有复位弹簧,所述缓冲板的下表面另一端固定连接第二竖杆的顶端。该全自动硅片清洗机的废水处理装置,通过缓冲板和复位弹簧的配合设置,能够对水流进行缓冲,减小水流对过滤板的冲击,有效的保护了过滤板,从而能够提升过滤板的使用寿命。

  

权利要求书

  1.一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,包括处理箱(1),其特征在于:所述处理箱(1)的两侧内壁上端均固定连接有固定板(2),两个所述固定板(2)的上方均设置有缓冲板(3),所述缓冲板(3)的下表面一端固定连接斜块(4)的上表面,所述斜块(4)的下表面固定连接第一竖杆(5)的一端,所述第一竖杆(5)的上端外侧套接有压板(6),所述第一竖杆(5)的外侧套接有复位弹簧(7);

  所述缓冲板(3)的下表面另一端固定连接第二竖杆(8)的顶端,所述第二竖杆(8)的底端贯穿固定板(2)远离处理箱(1)内壁的一端并位于固定板(2)的下方,所述第二竖杆(8)的底端固定连接横板(9)的上表面一端;

  所述缓冲板(3)的上表面一端通过橡胶板(10)与处理箱(1)的顶端内壁固定连接,所述处理箱(1)的内腔下端固定安装有过滤板(11),所述处理箱(1)的两侧内壁上端均开设有滑槽(12),两个所述滑槽(12)内均滑动连接有滑动块(13),所述滑动块(13)与缓冲板(3)的一端固定连接。

  2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,其特征在于:

  所述第一竖杆(5)的另一端依次贯穿压板(6)的中部和固定板(2)的中部一侧并位于固定板(2)的下方;

  所述第一竖杆(5)的另一端与横板(9)的上表面另一端固定连接。

  3.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,其特征在于:

  所述复位弹簧(7)的一端与压板(6)的下表面固定连接;

  所述复位弹簧(7)的另一端与固定板(2)的上表面固定连接。

  4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,其特征在于:

  所述橡胶板(10)的顶端与处理箱(1)的顶端内壁固定连接;

  所述橡胶板(10)的底端与缓冲板(3)的上表面固定连接。

  5.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,其特征在于:

  所述过滤板(11)的一端与处理箱(1)的一侧内壁固定连接;

  所述过滤板(11)的另一端与处理箱(1)的另一侧内壁固定连接。

  6.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,其特征在于:

  所述处理箱(1)的顶端中部固定连接有进水管(14);

  所述进水管(14)的一端固定连接有两个支管(15),所述支管(15)位于缓冲板(3)的上方;

  所述处理箱(1)的一侧下端开设有出水口(16)。

  7.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,其特征在于:

  所述缓冲板(3)的前后两侧均固定连接有挡板(17)。

  说明书

  一种全自动硅片清洗机的废水处理装置

  技术领域

  本发明涉及废水处理技术领域,具体为一种全自动硅片清洗机的废水处理装置。

  背景技术

  半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物,这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面,会导致各种缺陷。全自动硅片清洗机对硅片进行清洗之后会产生废水,现有的废水处理装置内未设置保护装置,将废水排进废水处理装置过程中,由于水流冲击过大,会对过滤板造成冲击,经过长时间使用有可能造成过滤板损坏,导致废水处理设备无法正常使用,因此,我们提出一种全自动硅片清洗机的废水处理装置用来解决过滤板损坏的问题。

  发明内容

  (一)解决的技术问题

  针对现有技术的不足,本发明提供了一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,解决了现有的废水处理装置用的过滤板损坏的问题。

  (二)技术方案

  为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:

  一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,包括处理箱,所述处理箱的两侧内壁上端均固定连接有固定板,两个所述固定板的上方均设置有缓冲板,所述缓冲板的下表面一端固定连接斜块的上表面,所述斜块的下表面固定连接第一竖杆的一端,所述第一竖杆的上端外侧套接有压板,所述第一竖杆的外侧套接有复位弹簧;

  所述缓冲板的下表面另一端固定连接第二竖杆的顶端,所述第二竖杆的底端贯穿固定板远离处理箱内壁的一端并位于固定板的下方,所述第二竖杆的底端固定连接横板的上表面一端;

  所述缓冲板的上表面一端通过橡胶板与处理箱的顶端内壁固定连接,所述处理箱的内腔下端固定安装有过滤板,所述处理箱的两侧内壁上端均开设有滑槽,两个所述滑槽内均滑动连接有滑动块,所述滑动块与缓冲板的一端固定连接。

  可选的,所述第一竖杆的另一端依次贯穿压板的中部和固定板的中部一侧并位于固定板的下方;

  所述第一竖杆的另一端与横板的上表面另一端固定连接。

  可选的,所述复位弹簧的一端与压板的下表面固定连接;

  所述复位弹簧的另一端与固定板的上表面固定连接。

  可选的,所述橡胶板的顶端与处理箱的顶端内壁固定连接;

  所述橡胶板的底端与缓冲板的上表面固定连接。

  可选的,所述过滤板的一端与处理箱的一侧内壁固定连接;

  所述过滤板的另一端与处理箱的另一侧内壁固定连接。

  可选的,所述处理箱的顶端中部固定连接有进水管;

  所述进水管的一端固定连接有两个支管,所述支管位于缓冲板的上方;

  所述处理箱的一侧下端开设有出水口。

  可选的,所述缓冲板的前后两侧均固定连接有挡板。

  (三)有益效果

  本发明提供了一种全自动硅片清洗机的废水处理装置,具备以下有益效果:

  (1)、该全自动硅片清洗机的废水处理装置,通过缓冲板和复位弹簧的配合设置,能够对水流进行缓冲,减小水流对过滤板的冲击,有效的保护了过滤板,从而能够提升过滤板的使用寿命。

  (2)、该全自动硅片清洗机的废水处理装置,通过设置滑槽和滑动块,能够方便滑动板的移动,通过设置橡胶板,能够对滑槽起到密封作用,能够防止水进入滑槽内。

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