申请日2015.10.14
公开(公告)日2016.06.01
IPC分类号C02F9/04; C01F7/54
摘要
本发明公开了一种含氟废水的处理方法，此方法包含以下步骤：首先，执行进水步骤至调匀槽;接着，借助于氟离子探测单元以控制调匀槽内的待处理水的氟离子浓度;而后，导入该待处理水与铝盐溶液至流体化床结晶槽，混合而得到冰晶石结晶体。
权利要求书
1.一种含氟废水处理方法，其特征在于，包括：
执行进水步骤至调匀槽，其中待处理水以批次式操作进入至该调匀槽，该调匀槽内的该待处理水包含高浓度含氟废水与低浓度含氟废水;
借助于氟离子探测单元以控制该调匀槽内的该待处理水的氟离子浓度，其中当该待处理水的氟离子浓度至一预定浓度时，停止供该高浓度含氟废水进入至该调匀槽，当该待处理水的水位达一预定液位时，停止供应低浓度含氟废水进入至该调匀槽;以及
导入该待处理水与铝盐溶液至流体化床结晶槽，混合而得到冰晶石结晶体。
2.如权利要求1所述的含氟废水处理方法，其特征在于，该流体化床结晶槽中的铝与氟的摩尔浓度比例在0.8：6至1.2：6的范围间。
3.如权利要求1所述的含氟废水处理方法，其特征在于，该氟离子探测单元包括一氟离子选择电极与一氟离子探测槽，在借助于该氟离子探测单元以控制该调匀槽内的该待处理水的氟离子浓度的步骤中，更包括：
导入该高浓度含氟废水及一离子液至该氟离子探测槽;以及
借助于该氟离子选择电极以检测该氟离子探测槽中的氟离子浓度。
4.如权利要求1所述的含氟废水处理方法，其特征在于，在导入该待处理水与该铝盐溶液至该流体化床结晶槽，混合而得到该冰晶石结晶体的步骤中，更包括：
进行一分离步骤，以得到该低浓度含氟废水与一污泥;以及
借助于该氟离子探测单元控制一回流泵，以将该低浓度含氟废水导入至该调匀槽。
5.如权利要求1所述的含氟废水处理方法，其特征在于，在导入该待处理水与该铝盐溶液至该流体化床结晶槽，混合而得到该冰晶石结晶体的步骤中，更包括：
借助于一pH控制器以控制该流体化床结晶槽内的pH值达到一预定pH值;以及
当该流体化床结晶槽内的pH值未在该预定pH值的范围内时，导入碱液以使该流体化床结晶槽内的pH值达到该预定pH值。
6.如权利要求5所述的含氟废水处理方法，其特征在于，该预定pH值的范围在5.0～5.5之间。
说明书
含氟废水处理方法
技术领域
本发明涉及一种废水处理方法，尤其涉及一种含氟废水的处理方法。
背景技术
随着生活水准及工业化程度提高，在消费性电子产业、高科技产业、半导体产业及电子产业的迅速发展之下，相对地提升了中国台湾的经济发展，但是也带来了环境的污染。
在上述产业中，氟系废水是半导体产业主要的废水排放之一。而废水的主要来源例如为，晶圆清洗及湿蚀刻时使用氢氟酸后所产生的废水，或者，回收水系统中再生树脂后所产生的废水，再或者，机台端局部废气处理设施(LocalScrubber)与中央废气洗涤塔(CenterScrubber)所排放的废水。在巴塞尔公约中，将含氟废水与污泥归类为有害废弃物，必须在境内妥善处理并不得运送出境。如此可见，含氟废水处理方法与技术研究是环保领域的重要课题。
发明内容
本发明提供一种含氟废水的处理方法，其能得出高纯度的冰晶石结晶体，从而提升回收价值。
本发明提供一种含氟废水的处理方法，包括以下步骤：执行进水步骤至调匀槽，其中是将待处理水以批次式操作进入至调匀槽，调匀槽内的待处理水包含高浓度含氟废水与低浓度含氟废水。借助于一氟离子探测单元以控制调匀槽内的待处理水的氟离子浓度，其中当待处理水的氟离子浓度至一预定浓度时，停止供高浓度含氟废水进入至调匀槽，当待处理水的水位达一预定液位时，停止供应低浓度含氟废水进入至调匀槽。导入待处理水与铝盐溶液至流体化床结晶槽，混合而得到冰晶石结晶体。
在本发明的一实施例中，流体化床结晶槽中的铝与氟的摩尔浓度比例在0.8：6至1.2：6的范围间。
在本发明的一实施例中，氟离子探测单元包括一氟离子选择电极与一氟离子探测槽。借助于氟离子探测单元以控制调匀槽内的待处理水的氟离子浓度的步骤中，更包括以下步骤：导入高浓度含氟废水及一离子液至氟离子探测槽;接着，借助于氟离子选择电极以检测氟离子探测槽中的氟离子浓度。
在本发明的一实施例中，导入待处理水与铝盐溶液至流体化床结晶槽，混合而得到冰晶石结晶体的步骤中，更包括以下步骤：进行一分离步骤，以得到冰晶石结晶体、低浓度含氟废水与污泥;接着，借助于氟离子探测单元控制一回流泵，以将低浓度含氟废水导入至调匀槽。
在本发明的一实施例中，导入待处理水与铝盐溶液至流体化床结晶槽，混合而得到冰晶石结晶体的步骤中，更包括以下步骤：借助于一pH控制器以控制流体化床结晶槽内的pH值达到一预定pH值;接着，当流体化床结晶槽内的pH值未在预定pH值的范围内时，导入碱液以使流体化床结晶槽内的pH值达到预定pH值。
在本发明的一实施例中，预定pH值的范围在5.0～5.5之间。
基于上述，本发明的含氟废水处理方法，使待处理水是以批次式而非连续式的方式进入调匀槽，可避免因进水水质变化过大而造成后续结晶效能不佳。再者，借助于上述氟离子探测单元控制氟离子浓度在一定的范围内，以维持在适合冰晶石结晶体的条件下，而得到高纯度的冰晶石结晶体。
