申请日2018.08.03
公开(公告)日2018.12.07
IPC分类号G01N29/06; G01N29/22
摘要
本发明技术方案公开了一种超声波扫描显微镜水处理装置、及其使用方法。其中超声波扫描显微镜水处理装置，包括：密闭腔室;入水口，与所述密闭腔室连通，用于将水引入所述密闭腔室内;抽气口，与所述密闭腔室连通，用于将所述密闭腔室抽成低于大气压;出水口，与所述密闭腔室连通，用于将处理后的水输出。本发明技术方案采用水处理装置通过改变压强将水中的空气消除，从而消除在超声波扫描显微镜的超声探头高速移动时产生的气泡，有效地提高了机台的扫描速度及检测效率。
权利要求书
1.一种超声波扫描显微镜水处理装置，其特征在于，包括：
密闭腔室;
入水口，与所述密闭腔室连通，用于将水引入所述密闭腔室内;
抽气口，与所述密闭腔室连通，用于将所述密闭腔室抽成低于大气压;
出水口，与所述密闭腔室连通，用于将处理后的水输出。
2.如权利要求1所述超声波扫描显微镜水处理装置，其特征在于，所述入水口一端位于所述密闭腔室的顶部或所述密闭腔室侧壁的上部。
3.如权利要求2所述超声波扫描显微镜水处理装置，其特征在于，还包括供水加热装置，所述供水加热装置与所述入水口另一端相连接
4.如权利要求1所述超声波扫描显微镜水处理装置，其特征在于，所述抽气口一端位于所述密闭腔室的顶部或所述密闭腔室侧壁的上部。
5.如权利要求4所述超声波扫描显微镜水处理装置，其特征在于，所述抽气口的另一端连接有抽气泵。
6.如权利要求1所述超声波扫描显微镜水处理装置，其特征在于，所述出水口一端位于所述密闭腔室的底部或所述密闭腔室侧壁的下部。
7.如权利要求6所述超声波扫描显微镜水处理装置，其特征在于，所述出水口的另一端与超声波扫描显微镜水槽相连接。
8.如权利要求1所述超声波扫描显微镜水处理装置，其特征在于，所述密闭腔室的材料为铝合金。
9.如权利要求1～8任一项的超声波扫描显微镜水处理装置的使用方法，其特征在于，包括：
通过所述入水口将水引入所述密闭腔室内;
同时通过所述抽气口将所述密闭腔室抽成低于大气压;
将处理后的水由所述出水口输出。
10.如权利要求9所述的使用方法，其特征在于，在将水引入密闭腔室之前，还包括：
采用供水加热装置将水加热后输出至所述入水口。
11.如权利要求9所述的使用方法，其特征在于，所述供水加热装置将水加热至30℃～40℃。
12.如权利要求9所述的使用方法，其特征在于，所述低于大气压为0.08Mpa～0.09Mpa。
说明书
超声波扫描显微镜水处理装置、及其使用方法
技术领域
本发明涉及半导体器件的制造领域，尤其涉及超声波扫描显微镜水处理装置、及其使用方法。
背景技术
超声波扫描显微镜(C-SAM，C-mode Scanning Acoustic Microscope)是利用超声波脉冲探测样品内部空隙等缺陷的仪器。C-SAM利用纯水当介质传输超声波信号，当信号遇到不同材料的界面时会部分反射及透射，此种反射波或透射波强度会因为材料密度不同而有所差异，进而检验材料内部的缺陷，并依据所接收的信号变化将缺陷成像。
现有C-SAM主要用于观察组件内部的芯片粘接失效、分层、裂纹、夹杂物、空洞等。是一项非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的测试，作为无损检测分析中的一种，C-SAM可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对材料进行检测。因此，目前C-SAM被广泛的应用在材料检测(IQC)、失效分析(FA)、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域。
现有半导体封装工艺中会用到焊接工艺，焊接结果的好坏会直接影响产品的良率，而目前采用C-SAM来检测焊接的效果。在C-SAM进行检测时需要控制好扫描的速度，因为扫描速度决定了超声探头的移动速度，如果移动速度过大，由于水的空化作用会在超声探头下形成气泡，而气泡会影响检测的结果。
发明内容
本发明技术方案要解决的技术问题是提供一种超声波扫描显微镜水处理装置、及其使用方法，消除在超声探头高速移动时产生的气泡。
为解决上述技术问题，本发明技术方案提供一种超声波扫描显微镜水处理装置，包括：密闭腔室;入水口，与所述密闭腔室连通，用于将水引入所述密闭腔室内;抽气口，与所述密闭腔室连通，用于将所述密闭腔室抽成低于大气压;出水口，与所述密闭腔室连通，用于将处理后的水输出。
可选的，所述入水口一端位于所述密闭腔室的顶部或所述密闭腔室侧壁的上部。
可选的，所述超声波扫描显微镜水处理装置，还包括供水加热装置，所述供水加热装置与所述入水口另一端相连接。
可选的，所述抽气口一端位于所述密闭腔室的顶部或所述密闭腔室侧壁的上部。
可选的，所述抽气口的另一端连接有抽气泵。
可选的，所述出水口一端位于所述密闭腔室的底部或所述密闭腔室侧壁的下部。
可选的，所述出水口的另一端与超声波扫描显微镜水槽相连接。
可选的，所述密闭腔室的材料为铝合金。
本发明技术方案提供一种超声波扫描显微镜水处理装置的使用方法，包括：通过所述入水口将水引入所述密闭腔室内;同时通过所述抽气口将所述密闭腔室抽成低于大气压;将处理后的水由所述出水口输出。
可选的，在将水引入密闭腔室之前，还包括：采用供水加热装置将水加热后输出至所述入水口。
可选的，所述供水加热装置将水加热至30℃～40℃。
可选的，所述低于大气压为0.08Mpa～0.09Mpa。
与现有技术相比，本发明技术方案具有以下有益效果：
由于水中可以溶解部分空气，而空气在水中的溶解度与压强有关(与压强成正比)。因此，在将水通入超声波扫描显微镜的水槽之前，采用水处理装置通过改变压强将水中的空气消除，从而消除在超声波扫描显微镜的超声探头高速移动时产生的气泡，有效地提高了机台的扫描速度及检测效率。
其次，由于空气在水中的溶解度也与温度有关(与温度成反比)，即温度越高，空气在水中的溶解度越差。因此，在水处理装置中再增加供水加热装置，在对所述密闭腔室进行抽成低于大气压状态之前，先对水进行加热处理，能进一步消除水中的气泡，进而消除在超声探头高速移动时产生的气泡，在不影响检测结果的前提下提高产能。
